搜索 分析 新世界 法规 图书 网址导航 更多
高级用户登录 | 登录 | |

基于电容充电计时法消除非线性误差的光外差干涉法
有权
阅读授权文献

申请号:201310231632.4 申请日:2013-06-09
摘要:基于电容充电计时法消除非线性误差的光外差干涉法属于光外差干涉领域,该方法是在存在着非线性误差干扰成分的光路上,设法获得至少3路信号并使其中至少3路中各自的周期性非线性误差干扰成分,在要被消除的信号频率成分上的相位角在一个对应的圆周角范围内或者排除整数倍圆周角后的一个对应圆周角范围内各不相同,并且在模拟电信号通道中采用滤波器对信号进行滤波,并采用电容充电计时法求出各路测量信号和参考信号之间的相位差,在此之后通过模数转换进行位移计算、加权和叠加运算,以便消除或抑制这些干扰成分。本发明可以消除非线性误差或干扰的特定谐波成份,其调整过程非常容易,提高了系统性能,降低了成本。
申请人: 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
地址: 130033 吉林省长春市东南湖大路3888号
发明(设计)人: 孙强 李也凡
主分类号: G01B9/02(2006.01)I
分类号: G01B9/02(2006.01)I
  • 法律状态
2016-06-01  授权
2013-10-30  实质审查的生效IPC(主分类):G01B 9/02申请日:20130609
2013-09-25  公开
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
  • 其他信息
主权项  基于电容充电计时法消除非线性误差的光外差干涉法,其特征在于:该方法包括:在存在着非线性误差干扰成分的光路上,通过分光获得至少3路测量信号和1路参考信号,并使其中至少3路测量信号的各自周期性非线性误差在要被消除的频率成分上的相位角在一个对应的圆周角范围内各不相同;将至少3路测量信号与1路参考信号分别转化为对应至少3路测量模拟电信号与1路参考模拟电信号。将所述至少3路测量模拟电信号的每一路分别进行第一滤波过程;将1路参考模拟电信号进行第二滤波过程。相位检测模块基于电容充电法确定滤波后的至少3路测量模拟电信号的每一路的特定相位与滤波后的1路参考模拟电信号的特定相位之间的第一时间间隔,并由此确定相位差;将相位差换算成位移,得到至少3路位移测量结果,此时各路位移测量结果中含有非线性误差;将得到的至少3路位移测量结果进行实数加权运算,再进行加法运算即可得到最终测量结果;所述第一滤波过程包括采用锁相环滤波器。
公开号  103322906A
公开日  2013-09-25
专利代理机构  长春菁华专利商标代理事务所 22210
代理人  田春梅
颁证日  
优先权  
国际申请  
国际公布  
进入国家日期