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一种判别多晶硅薄膜无序度的方法
无权-视为撤回

申请号:201310205292.8 申请日:2013-05-27
摘要:本发明涉及多晶硅薄膜,特指一种判别多晶硅薄膜无序度的方法,用激光拉曼普仪测试多晶硅薄膜的拉曼光谱,获得多晶硅薄膜拉曼散射峰的频移值和半高宽,计算多晶硅薄膜的无序度。本发明对薄膜没有任何损坏,属于半导体薄膜材料领域。
申请人: 江苏大学
地址: 212013 江苏省镇江市京口区********(隐藏)
发明(设计)人: 王权 邵盈 张艳敏 毛伟 胡然 刘小颖 闫超
主分类号: G01N21/65(2006.01)I
分类号: G01N21/65(2006.01)I
  • 法律状态
2015-10-28  发明专利申请公布后的视为撤回IPC(主分类):G01N 21/65申请公布日:20130925
2013-10-30  实质审查的生效IPC(主分类):G01N 21/65申请日:20130527
2013-09-25  公开
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
  • 其他信息
主权项  一种判别多晶硅薄膜无序度的方法,其特征是:利用拉曼光谱对多晶硅薄膜进行表征,获得多晶硅薄膜拉曼散射峰的频移值和半高宽,计算出多晶硅薄膜的无序度,即                                                                                                    式中C即为无序度,=520 cm‑1为理想多晶硅薄膜拉曼散射峰的峰位,为实验获得的多晶硅薄膜拉曼散射峰的峰位,为拉曼散射峰的半高宽,利用上述公式,能够计算出所制备多晶硅薄膜的无序度。9106dest_path_image002.jpg,2013102052928100001dest_path_image004.jpg,2013102052928100001dest_path_image006.jpg,2013102052928100001dest_path_image008.jpg
公开号  103323444A
公开日  2013-09-25
专利代理机构  南京经纬专利商标代理有限公司 32200
代理人  楼高潮
颁证日  
优先权  
国际申请  
国际公布  
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