搜索 分析 新世界 法规 图书 网址导航 更多
高级用户登录 | 登录 | |

一种单面多点非接触式图案的测试方法
无权-视为撤回

申请号:201310185367.0 申请日:2013-05-20
摘要:本发明方案公开了一种单面多点非接触式图案测试方法的解决方案,包括以下步骤:将CAD图形导入AOI自动光学检查机,调出检测程序;将蚀刻之后带有光刻胶的图形产品放入检测平台,载台移入;进入线性CCD扫描检测,机器自动将计算结果与标准检测程序进行比较,同时进行缺陷侦测运算;程序将检测结果显示至人机界面,把不合格的部分记录下来,做标记或打印出来,载台移出;人员取出待测物;将有缺陷的产品送到返修站进行短路修补。通过本发明方案的方法可以解决单面多点非接触式图案测试方法的问题,提高了产品检测效率,同时避免了AOI自动光学检查机面对无光刻胶的ITO图形高透困难的问题,打通制程上的瓶颈问题。
申请人: 晟光科技股份有限公司
地址: 233000 安徽省蚌埠市迎宾大道958号
发明(设计)人: 周朝平 汪文林 肖新煌 林钟泉
主分类号: G01N21/956(2006.01)I
分类号: G01N21/956(2006.01)I
  • 法律状态
2015-11-25  发明专利申请公布后的视为撤回IPC(主分类):G01N 21/956申请公布日:20130925
2013-11-13  实质审查的生效IPC(主分类):G01N 21/956申请日:20130520
2013-09-25  公开
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
  • 其他信息
主权项  一种单面多点非接触式图案的测试方法,其特征在于,其主要测试过程包括以下步骤:(1)选用一台AOI自动光学检查机,AOI自动光学检查机包括有检测平台,检测平台的一端中部固定有撑杆,撑杆上固定有横梁,横梁上固定有面向检测平台的CCD摄像头,CCD摄像头连接计算机,计算机外接人机界面;(2)将单面多点式图形的CAD图形导入AOI自动光学检查机,通过学习向导调出需要的检测程序;(3)将蚀刻之后带有光刻胶的图形产品放入AOI自动光学检查机的检测平台,手动靠边对位;确认后,载台移入;(4)进入线性CCD扫描检测;连续检测时,计算机自动将计算结果与标准检测程序进行比较,同时进行缺陷侦测运算;(5)程序将检测结果显示至人机界面,并把不合格的部分记录下来,做标记或打印出来,载台移出;(6)人员取出待测物,并将有缺陷的产品送到返修站进行短路修补。
公开号  103323468A
公开日  2013-09-25
专利代理机构  安徽合肥华信知识产权代理有限公司 34112
代理人  余成俊
颁证日  
优先权  
国际申请  
国际公布  
进入国家日期