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一种电化学刻蚀加工聚合物材料表面的方法
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申请号:201310172181.1 申请日:2013-05-10
摘要:本发明公开了一种电化学刻蚀加工聚合物材料表面的方法,涉及聚合物材料表面的微纳米加工技术领域,具体步骤是:将表面带有微图案的金属或合金材质的工具电极与聚合物工件表面相接触,并浸入工作溶液中;另在工作溶液中设置对电极和参比电极;通过电化学控制系统调控工具电极的电位使之表面发生电化学阳极氧化反应,产生金属氧化物纳米膜,再由金属氧化物纳米膜化学刻蚀聚合物材料表面;刻蚀完毕后,关闭电化学控制系统,将工具电极从聚合物材料表面移开,即可。该方法所需的设备简单、价廉,对导电或非导电材质的聚合物表面均可实现高效、高精度的批量刻蚀加工。
申请人: 厦门大学
地址: 361000 福建省厦门市思明南路422号
发明(设计)人: 时康 张红万 杨永学 田中群 张劲福 王成
主分类号: B81C1/00(2006.01)I
分类号: B81C1/00(2006.01)I
  • 法律状态
2016-01-20  授权
2013-11-06  实质审查的生效IPC(主分类):B81C 1/00申请日:20130510
2013-10-09  公开
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
  • 其他信息
主权项  一种电化学刻蚀加工聚合物材料表面的方法,其步骤包括:(1)将表面带有微结构图案的金属或合金材质的工具电极,与聚合物材料工件的表面相接触,并浸入工作溶液中;另在工作溶液中设置辅助电极和参比电极;(2)通过电化学控制系统调控工具电极至某一氧化电位之上,使之表面产生金属氧化物纳米膜,再由金属氧化物纳米膜与聚合物表面发生化学刻蚀反应;通过调控工具电极的阳极电流和刻蚀时间来控制刻蚀进度;刻蚀完成后,关闭电化学控制系统,将工具电极从聚合物材料表面移开。
公开号  103342334A
公开日  2013-10-09
专利代理机构  厦门市首创君合专利事务所有限公司 35204
代理人  张松亭
颁证日  
优先权  
国际申请  
国际公布  
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