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静电卡盘
无权-视为撤回

申请号:201310063346.1 申请日:2013-02-28
摘要:本发明公开的静电卡盘,包括:基底基材;陶瓷绝缘层,形成于所述基底基材上;电极层,形成于所述陶瓷绝缘层上来用于发生静电力;电介质层,形成于所述电极层上,具有载置衬底的表面;及凸起部,从所述电介质层的表面凸起,所述电介质层是由氧化铝构成,所述凸起部是由包括铝及钇的非晶相的氧化物构成。
申请人: 高美科株式会社
地址: 韩国京畿道
发明(设计)人: 成珍一 吴致源 杨镇喆 芮庚焕
主分类号: H01L21/683(2006.01)I
分类号: H01L21/683(2006.01)I
  • 法律状态
2016-08-03  发明专利申请公布后的视为撤回IPC(主分类):H01L 21/683申请公布日:20130925
2014-02-19  实质审查的生效IPC(主分类):H01L 21/683申请日:20130228
2013-09-25  公开
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
  • 其他信息
主权项  一种静电卡盘,其特征在于,包括:基底基材;陶瓷绝缘层,形成于所述基底基材上;电极层,形成于所述陶瓷绝缘层上来用于发生静电力;电介质层,形成于所述电极层上,具有载置衬底的表面;及凸起部,从所述电介质层的表面凸起,所述电介质层是由氧化铝构成,所述凸起部是由包括铝及钇的非晶相的氧化物构成。
公开号  103325725A
公开日  2013-09-25
专利代理机构  北京青松知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 11384
代理人  郑青松
颁证日  
优先权  2012.03.21 KR 10-2012-0028573
国际申请  
国际公布  
进入国家日期