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电化学体系中工件的水平检测装置、调平装置及调平方法
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申请号:201210492775.6 申请日:2012-11-27
摘要:本发明提供了一种电化学体系中工件的水平检测装置、调平装置及调平方法。该水平检测装置包括:宏微位移平台;位移台,固设于宏微位移平台确定的X-Y平面上,可在该X-Y平面上进行位移,电解池与该位移台相对静止;探针电极,固设于宏微位移平台确定的Z方向上,其检测端浸入垂直向下进入电解池内的电解液中,距离电解池内的工件预设距离;以及电化学工作站,其工作电极连接至探针电极,其辅助电极和参比电极均连接浸入电解池内的电解液中,控制工作电极电位恒定,检测该工作电极随位移台的运动而变化的电流信号,获得电流信号曲线,由电流信号曲线的起伏幅度获知电解池内工件的倾斜程度。本发明可提高电解液中工件水平检测的精度。
申请人: 厦门大学 哈尔滨工业大学
地址: 361005 福建省厦门市思明南路422号
发明(设计)人: 詹东平 韩联欢 袁野 胡振江 曹永智 赵学森 闫永达 田中群
主分类号: G01Q30/00(2010.01)I
分类号: G01Q30/00(2010.01)I G01Q30/20(2010.01)I G01C9/00(2006.01)I
  • 法律状态
2016-03-09  授权
2014-07-02  实质审查的生效IPC(主分类):G01Q 30/00申请日:20121127
2014-06-04  公开
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
  • 其他信息
主权项  一种电化学体系中工件的水平检测装置,其特征在于,包括:宏微位移平台;位移台,固设于所述宏微位移平台确定的X?Y平面上,可在该X?Y平面上进行位移,电解池(6)与该位移台相对静止,可随所述位移台的运动而运动;探针电极,固设于所述宏微位移平台确定的Z方向上,其检测端垂直向下浸入所述电解池(6)内的电解液中,距离放置于所述电解液内的工件预设距离;以及电化学工作站,其工作电极(WE)连接至所述探针电极(7),其辅助电极(RE)和参比电极(CE)浸入所述电解液中,控制工作电极(WE)电位恒定,检测该工作电极(WE)随所述位移台的运动而变化的电流信号,获得电流信号曲线,由该电流信号曲线的起伏幅度获知放置于所述电解液内工件的倾斜程度。
公开号  103837708A
公开日  2014-06-04
专利代理机构  中科专利商标代理有限责任公司 11021
代理人  宋焰琴
颁证日  
优先权  
国际申请  
国际公布  
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