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带有热沉结构的光读出全镂空焦平面阵列及其制造方法
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申请号:201210076887.3 申请日:2012-03-21
摘要:一种带有热沉结构的光读出全镂空焦平面阵列及其制造方法,所述阵列的每个像元包括一个框架以及框架内的反光板等其他部件,每个像元框架上方包括由厚金属薄膜构成的热沉结构。热沉结构使得整个薄膜区域热导增加,能量传导加快,薄膜区域温度均匀性大大提高。消除了能量沿框架网格传播而造成的热串扰现象,热响应时间降低,热成像速度加快。另外整个支撑框架厚度增加数十倍,大大提高了薄膜区域的机械强度和薄膜平整性。再者,因框架高出像元其他部件所在的平面,这样照射到反光板上面的反射光线可以和照射到框架上的反射光线得到分离,使得反光板读出的成像信号和框架的反射信号得以分离。本方法工艺简单,制作周期短,成品率高。
申请人: 中国科学院微电子研究所
地址: 100029 北京市朝阳区北土城西路3#
发明(设计)人: 刘瑞文 焦斌斌 陈大鹏
主分类号: B81B7/04(2006.01)I
分类号: B81B7/04(2006.01)I B81C1/00(2006.01)I
  • 法律状态
2016-08-03  专利权的转移IPC(主分类):B81B 7/04登记生效日:20160713变更事项:专利权人变更前权利人:中国科学院微电子研究所变更后权利人:北京中科微投资管理有限责任公司变更事项:地址变更前权利人:100029 北京市朝阳区北土城西路3#变更后权利人:100029 北京市朝阳区北土城西路3号
2016-01-06  授权
2014-02-12  实质审查的生效IPC(主分类):B81B 7/04申请日:20120321
2013-09-25  公开
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
  • 其他信息
主权项  一种带有热沉结构的光读出全镂空焦平面阵列,包括一系列像元,其中每个像元包括一个框架以及框架内的其他部件,其特征是:所述每个像元的框架的上方包括由厚金属薄膜构成的热沉结构。
公开号  103318836A
公开日  2013-09-25
专利代理机构  北京蓝智辉煌知识产权代理事务所(普通合伙) 11345
代理人  陈红
颁证日  
优先权  
国际申请  
国际公布  
进入国家日期