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位相正交双频激光回馈位移测量系统
无权-未缴年费

System for measuring phase orthogonal double-frequency laser feedback displacement

申请号:201110050006.6 申请日:2011-03-02
摘要:本发明公开了激光位移传感技术领域中的一种位相正交双频激光回馈位移测量系统。该系统引入五细分芯片对光强信号五细分后得到两路有90度位相差的方波信号,对方波信号的边沿进行处理以实现四细分,达到亚纳米级的分辨率,并根据两路方波信号位相的相对超前或滞后识别物体位移方向。该位移测量系统具有分辨率高、结构简单、成本低等特点。
Abstract: The invention discloses a system for measuring phase orthogonal double-frequency laser feedback displacement, belonging to the technical field of laser displacement sensing. In the system, five-subdivision chips are adopted to carry out five-subdivision on a light intensity signal so as to obtain two square wave signals with 90-degree phase difference; and the edges of the square wave signals are processed so as to realize four-subdivision and achieve the sub-nanometer resolution ratio, and the displacement direction of objects can be recognized according to advance or lag of the phases of the two square wave signals. The displacement measuring system has the characteristics of high resolution, simple structure, low cost and the like.
申请人: 清华大学
Applicant: UNIV TSINGHUA
地址: 100084 北京市海淀区北京市********(隐藏)
发明(设计)人: 张书练 曾召利 李岩
Inventor: SHULIAN ZHANG; ZHAOLI ZENG; YAN LI
主分类号: G01B11/02(2006.01)I
分类号: G01B11/02(2006.01)I
  • 法律状态
2020-03-10  未缴年费专利权终止IPC(主分类):G01B 11/02申请日:20110302授权公告日:20121010终止日期:20190302
2012-10-10  授权
2011-09-28  实质审查的生效IPC(主分类):G01B 11/02申请日:20110302
2011-08-17  公开
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
  • 其他信息
主权项  位相正交双频激光回馈位移测量系统,其特征是该系统包括:壳体及底座(15)内:压电陶瓷(1)、高反射率反射镜(2)、第二内腔反射镜(3)、石英晶体(4)、增透窗片(5)、激光增益管(6)、第一内腔反射镜(7);壳体及底座(15)外:偏振分光棱镜(8)、第一光电探测器(9)、第二光电探测器(10)、滤波放大电路(16)、五细分电路(17)、复杂可编程逻辑器芯片及外围电路(18);壳体及底座(15)内从左至右依次为压电陶瓷(1)、高反射率反射镜(2)、第二内腔反射镜(3)、石英晶体(4)、增透窗片(5)、激光增益管(6)、第一内腔反射镜(7);壳体及底座(15)外依次为偏振分光棱镜(8)、第一光电探测器(9)和第二光电探测器(10)、滤波放大电路(16)、五细分电路(17)、复杂可编程逻辑器及外围电路(18);所述石英晶体(4)用于产生频率分裂,输出双频激光;所述五细分电路(17)用于对信号进行五细分,输出两路有90度位相差的方波信号;所述复杂可编程逻辑器及外围电路(18)用于实现四细分,根据两路90度位相差的方波信号的位相相对超前或滞后来判断物体位移方向,并对位移的测量结果进行计数和显示。
公开号  102155916A
公开日  2011-08-17
专利代理机构  北京众合诚成知识产权代理有限公司 11246
代理人  黄家俊
颁证日  
优先权  
 
国别 优先权号 优先权日 类型
CN  201110050006  20110302 
国际申请  
国际公布  
进入国家日期  
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