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一种基于平行平晶分偏振光束及相移干涉术的精密晶圆检测方法和装置
无权-未缴年费

申请号:200910309186.8 申请日:2009-10-30
摘要:本发明涉及一种基于平行平晶分偏振光束及相移干涉术的精密晶圆检测装置,包括光源、空间滤波器、扩束器、起偏器、消偏振分光棱镜、平行平晶、1/4波片和检偏器,所述的光源、空间滤波器、扩束器、起偏器依次顺序设置在第一光轴,所述的检偏器、1/4波片、消偏振分光棱镜、平行平晶和外部的待测物表面依次顺序设置在第二光轴,所述的第一光轴和第二光轴垂直。
申请人: 哈尔滨工业大学深圳研究生院
地址: 518055广东省深圳市南山区西丽深圳大学城哈工大校区
发明(设计)人: 姚勇 宋菲 孙云旭 安宏宇
主分类号: G01B11/24(2006.01)I
分类号: G01B11/24(2006.01)I G01N13/00(2006.01)I
  • 法律状态
2013-12-18  未缴年费专利权终止IPC(主分类):G01B 11/24申请日:20091030授权公告日:20110622终止日期:20121030
2011-06-22  授权
2010-04-28  实质审查的生效IPC(主分类):G01B 11/24申请日:20091030
2010-03-10  公开
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
  • 其他信息
主权项  1.一种基于平行平晶分偏振光束及相移干涉术的精密晶圆检测装置 ,其特征在于:包括光源、空间滤波器、扩束器、起偏器、消偏振分光棱镜、平行平晶、 1/4波片和检偏器,所述的光源、空间滤波器、扩束器、起偏器依次顺序设置在第一光轴, 所述的检偏器、1/4波片、消偏振分光棱镜、平行平晶和外部的待测物表面依次顺序设置在 第二光轴,所述的第一光轴和第二光轴垂直。
公开号  101666630
公开日  2010-03-10
专利代理机构  深圳市科吉华烽知识产权事务所
代理人  胡吉科
颁证日  
优先权  
国际申请  
国际公布  
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