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环氧树脂中空微针阵列的制备方法
无权-未缴年费

申请号:200910308196.X 申请日:2009-10-12
摘要:一种微型电子机械系统技术领域的环氧树脂中空微针阵列的制备方法,采用倾斜旋转与传统光刻有机结合的方法制备SU-8三维微结构,通过调整支架的高度,获得0-90度的支架倾角,然后在水平基板上放置电机,由电机带动粘附在其上的基片自由旋转,并通过外加在电机上直流电压控制转速,将聚二甲基硅氧烷填充到SU-8三维微结构的模具中,脱模后得到中空微针阵列,在中空微针阵列上溅射金属铬铜复合后再次填充聚二甲基硅氧烷,脱模后得到中空微针阵列模具,在该模具上填充环氧树脂,然后将底部磨至聚二甲基硅氧烷后脱模,即可得到环氧树脂空心微针阵列,制备所得微针的锥形光滑,具有较好的尖端,工作时对皮肤的损伤小。
申请人: 上海交通大学
地址: 200240上海市上海市闵行区东川路800号
发明(设计)人: 蒋宏民 朱军 曹莹 杨君 陈翔
主分类号: A61M37/00(2006.01)I
分类号: A61M37/00(2006.01)I A61B10/00(2006.01)I B81C5/00(2006.01)I
  • 法律状态
2016-11-30  未缴年费专利权终止 IPC(主分类):A61M 37/00申请日:20091012授权公告日:20120613终止日期:20151012
2012-06-13  授权
2010-04-28  实质审查的生效IPC(主分类):A61M 37/00申请日:20091012
2010-03-10  公开
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
  • 其他信息
主权项  1.一种环氧树脂中空微针阵列的制备方法,其特征在于,包括以下 步骤: 第一步,在玻璃基片上旋涂SU8胶,将基片倾斜,在倾斜基片和掩模版并设置微针的 顶角为基片和掩模版的倾斜角度的两倍,然后进行紫外光旋转曝光; 第二步,将基片和掩模版经热烘处理后在基片表面甩涂第二层SU8光刻胶,然后再次 经热烘处理后进行旋转曝光,最后经第三次热烘处理后,显影得到SU8胶凹锥结构层; 第三步,在SU8胶凹锥结构层上制备下模层,然后在下模层上溅射制得铬铜复合金属 层; 第四步,在铬铜复合金属层上采用与第三步相同的方式制备上模层,得到完整空心微 针阵列模具,在空心微针阵列模具中填充环氧树脂,经真空固化后进行打磨处理,经脱模 后得到环氧树脂中空微针阵列。
公开号  101664579
公开日  2010-03-10
专利代理机构  上海交达专利事务所
代理人  王锡麟 王桂忠
颁证日  
优先权  
国际申请  
国际公布  
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