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靶材的制备方法
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申请号:200910205430.6 申请日:2009-10-23
摘要:本发明提供一种靶材的制备方法,包括:提供母材,并将所述母材置于真空熔炼炉中;所述母材为原铝或原铜;将所述真空熔炼炉中的母材熔融;对已熔融的金属进行成分分析,根据所述成分分析的结果和产品要求,添加制备靶材所需的成分元素;对所述熔融金属进行脱气处理;从熔融金属中取样,进行制品分析;将经过制品分析后符合产品要求的熔融金属通过浇道注入竖型结晶器,连续铸造;对起出后的靶材铸件进行成品检验,得到符合产品要求的靶材。相对于现有技术,本发明具有工艺简单、稳定,易于控制,具有较高的生产效率,使得制备出的靶材具有均匀性好、晶粒小等特点。
申请人: 宁波江丰电子材料有限公司
地址: 315400浙江省余姚市阳明科技工业园区江丰路1号
发明(设计)人: 姚力军 潘杰 王学泽 钱红兵 刘庆
主分类号: C23C14/14(2006.01)I
分类号: C23C14/14(2006.01)I C23C14/28(2006.01)I C23C14/30(2006.01)I C22B9/04(2006.01)I C22B9/05(2006.01)I C22B15/14(2006.01)I C22B21/06(2006.01)I B22D11/00(2006.01)I
  • 法律状态
2014-09-10  专利权人的姓名或者名称、地址的变更IPC(主分类):C23C 14/14变更事项:专利权人变更前:宁波江丰电子材料有限公司变更后:宁波江丰电子材料股份有限公司变更事项:地址变更前:315400 浙江省余姚市阳明科技工业园区江丰路1号变更后:315400 浙江省余姚市阳明科技工业园区江丰路1号
2012-08-22  授权
2010-04-28  实质审查的生效IPC(主分类):C23C 14/14申请日:20091023
2010-03-10  公开
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
  • 其他信息
主权项  1.一种靶材的制备方法,其特征在于,所述制备方法包括: 提供母材,并将所述母材置于真空熔炼炉中;所述母材为原铝或原铜; 将所述真空熔炼炉中的母材熔融; 对已熔融的金属进行成分分析,根据所述成分分析的结果和产品要求, 添加制备靶材所需的成分元素; 对所述熔融金属进行脱气处理; 从熔融金属中取样,进行制品分析; 将经过制品分析后符合产品要求的熔融金属通过浇道注入竖型结晶器, 进行连续铸造,形成靶材铸件; 对起出后的靶材铸件进行成品检测,筛选出符合产品要求的靶材。
公开号  101665909
公开日  2010-03-10
专利代理机构  北京集佳知识产权代理有限公司
代理人  李丽
颁证日  
优先权  
国际申请  
国际公布  
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