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基板支撑台和具有基板支撑台的基板检查设备
无权-视为撤回

申请号:200910179862.4 申请日:2007-06-12
摘要:本发明揭示一种基板支撑台和一种具有所述基板支撑台的基板检查设备。一种基板检查设备包括:台,其上面稳定地安装有基板,所述基板成为检查目标,其中对附接到所述基板的一边的TAB的区域执行凹痕检查和裂缝检查;至少一个凹痕检查相机,其对所述TAB区域进行照相,以便检查所述TAB中是否出现凹痕;至少一个裂缝检查相机,其对所述TAB区域进行照相,以便检查所述基板的TAB区域中是否出现裂缝;以及光学系统移动单元,其支撑所述凹痕检查相机和所述裂缝检查相机,以便相对于所述台而相对地移动。
申请人: SFA工程股份有限公司
地址: 韩国忠清南道牙山市屯浦面新项里166番地
发明(设计)人: 崔裕灿 洪旋珠 朴珉镐
主分类号: G01N21/95(2006.01)I
分类号: G01N21/95(2006.01)I G01B11/30(2006.01)I
  • 法律状态
2012-07-11  发明专利申请公布后的视为撤回IPC(主分类):G01N 21/95公开日:20100310
2010-04-28  实质审查的生效IPC(主分类):G01N 21/95申请日:20070612
2010-03-10  公开
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
  • 其他信息
主权项  1.一种基板支撑台,其包括: 多个衬垫,其支撑基板;以及 移动支撑部分,其可移动地支撑所述多个衬垫,使得所述多个衬垫彼 此接近和以规则间隔彼此远离。
公开号  101666760
公开日  2010-03-10
专利代理机构  北京中原华和知识产权代理有限责任公司
代理人  寿宁 张华辉
颁证日  
优先权  2006.6.13 KR 10-2006-0052915;2006.6.13 KR 10-2006-0052916;2006.12.27 KR 10-2006-0134764;2007.3.27 KR 10-2007-0029577
国际申请  
国际公布  
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