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遮罩组件以及镀膜机台
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申请号:200910174568.4 申请日:2009-09-30
摘要:本发明公开了一种遮罩组件以及镀膜机台,其中的镀膜机台用以在基材上的镀膜区域上进行镀膜。此镀膜机台包括镀膜腔室、阴极载台、阳极载台以及遮罩组件(MASK ASSEMBLY)。镀膜腔室具有腔室开口。阴极载台配置于腔室开口以盛放靶材,而阳极载台配置于镀膜腔室内以承载基材。遮罩组件配置于腔室开口,并位于阴极载台与阳极载台之间。此遮罩组件包括遮罩本体以及挡板。遮罩本体具有开孔。基材位于遮罩本体的第一侧,而开孔暴露出镀膜区域。挡板位于开孔旁,并且立于遮罩本体背对基材的第二侧。
申请人: 友达光电股份有限公司
地址: 台湾省新竹市
发明(设计)人: 刘建志 张钧杰 陈志强
主分类号: C23C14/04(2006.01)I
分类号: C23C14/04(2006.01)I C23C14/24(2006.01)I C23C16/04(2006.01)I C23C16/44(2006.01)I H01L21/00(2006.01)I
  • 法律状态
2011-08-31  授权
2010-04-28  实质审查的生效IPC(主分类):C23C 14/04申请日:20090930
2010-03-10  公开
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
  • 其他信息
主权项  1、一种遮罩组件,用以在一基材上定义一镀膜区域,其特征在于,该遮 罩组件包括: 一遮罩本体,具有一开孔,该基材位于该遮罩本体的一第一侧,而该开孔 暴露出该镀膜区域;以及 一挡板,位于该开孔旁,并且立于该遮罩本体背对该基材的一第二侧。
公开号  101665903
公开日  2010-03-10
专利代理机构  北京三友知识产权代理有限公司
代理人  董惠石
颁证日  
优先权  
国际申请  
国际公布  
进入国家日期