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化合物及其制造方法以及含有该化合物的抗蚀剂组合物
无权-视为撤回

申请号:200910168670.3 申请日:2009-09-02
摘要:本发明提供一种为了进一步提高化学放大型的抗蚀剂组合物的灵敏度而利用的具有酸增殖功能的化合物及使用该化合物的抗蚀剂组合物。该化合物是由式(I)或(I’)表示的化合物。(式(I)中,Z1及Z2分别独立地表示氢原子、C1~C12的烷基或C3~12的环状饱和烃基。其中,在Z1及Z2中,至少一方为C1~12的烷基或C3~12的环状饱和烃基。环Y1及环Y2分别独立地表示可被取代的C3~20的脂环式烃基。Q1~Q4及Q’1~Q’4分别独立地表示氟原子或C1~6的全氟烷基。M及N分别独立地表示0~5的整数)。
申请人: 住友化学株式会社
地址: 日本国东京都
发明(设计)人: 武元一树 安藤信雄 畑光宏
主分类号: C07C69/63(2006.01)I
分类号: C07C69/63(2006.01)I C07C67/08(2006.01)I C07C67/10(2006.01)I G03F7/004(2006.01)I G03F7/039(2006.01)I
  • 法律状态
2014-03-12  发明专利申请公布后的视为撤回IPC(主分类):C07C 69/63申请公布日:20100310
2011-08-31  实质审查的生效IPC(主分类):C07C 69/63申请日:20090902
2010-03-10  公开
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
  • 其他信息
主权项  1.一种化合物,其是由式(I)或(I’)表示的化合物, 式(I)中,Z1及Z2分别独立地表示氢原子、碳原子数1~12的烷基 或碳原子数3~12的环状饱和烃基,在Z1及Z2中,至少一方为碳原子数 1~12的烷基或碳原子数3~12的环状饱和烃基, 环Y1及环Y2分别独立地表示可被取代的碳原子数3~20的脂环式烃 基,Q1~Q4分别独立地表示氟原子或碳原子数1~6的全氟烷基, 式(I’)中,Q’1~Q’4分别独立地表示氟原子或碳原子数1~6的全氟 烷基, m及n分别独立地表示0~5的整数。
公开号  101665431
公开日  2010-03-10
专利代理机构  中科专利商标代理有限责任公司
代理人  朱丹
颁证日  
优先权  2008.9.2 JP 2008-225072
国际申请  
国际公布  
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