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一种镉锌氧合金薄膜及其制备方法
无权-视为撤回

申请号:200910153430.6 申请日:2009-10-12
摘要:本发明公开了一种镉锌氧合金薄膜,利用磁控溅射法于特定的温度区间内在衬底上制备不同组分的镉锌氧薄膜,得到的不同组分的镉锌氧薄膜的发光波长在整个可见光范围内可调,为C轴取向性生长的单一六方相薄膜。本发明还公开了这种镉锌氧合金薄膜的制备方法。本发明使用设备低廉,是半导体工业中常用薄膜制备设备,制备工艺简单成熟,重复性好,得到的镉锌氧合金薄膜质量优异;通过调节镉锌氧合金薄膜中镉和锌的相对含量,使得薄膜的发光波长可以在整个可见光范围内调节。
申请人: 浙江大学
地址: 310027浙江省杭州市西湖区浙大路38号
发明(设计)人: 陈培良 张瑞捷 马向阳 杨德仁
主分类号: C23C14/35(2006.01)I
分类号: C23C14/35(2006.01)I C23C14/06(2006.01)I
  • 法律状态
2011-08-10  发明专利申请公布后的视为撤回IPC(主分类):C23C 14/35公开日:20100310
2010-04-28  实质审查的生效IPC(主分类):C23C 14/35申请日:20091012
2010-03-10  公开
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
  • 其他信息
主权项  1、一种镉锌氧合金薄膜的制备方法,其特征在于,利用磁控溅射法 在衬底上制备镉锌氧薄膜,具体包括以下步骤: 1)利用球磨后陶瓷压制方法制备镉锌合金靶材或镉锌氧陶瓷靶材; 2)采用步骤1)制备的镉锌合金靶材或镉锌氧陶瓷靶材,利用磁控溅 射法在衬底上制备镉锌氧薄膜。
公开号  101665917
公开日  2010-03-10
专利代理机构  杭州天勤知识产权代理有限公司
代理人  胡红娟
颁证日  
优先权  
国际申请  
国际公布  
进入国家日期