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用于储存测量数据于真空计结构上的方法及装置
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权利转移
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申请号:200910150238.1 申请日:2005-11-29
摘要:一种用以借由组合离子化真空计与至少一其它的真空感测器来测量气体压力的方法及装置。耦接于真空计的非依电性记忆体含有依据工厂校准而定的各个个别感测器唯一的校准参数。该非依电性记忆体可含有用于一热敏真空感测器的校准参数,以补偿由该离子化真空计所产生的温度梯度。该等校准参数是当离子化真空计开启及关闭时所判断的校准数据的函数。该非依电性记忆体可储存该真空计的一视窗的测试数据,该非依电性记忆体更新于预定的时间间隔及回应于一诸如错误事件的事件,以协助调查真空计故障或失效的原因。
申请人: 布鲁克机械公司
地址: 美国麻州雀福市
发明(设计)人: 保罗·C·阿诺德 赖利·K·卡麦可 保罗·M·路特
主分类号: G01L21/00(2006.01)I
分类号: G01L21/00(2006.01)I G01L27/00(2006.01)I
  • 法律状态
2014-12-03  专利权的转移
IPC(主分类):G01L 21/00
变更事项:专利权人
变更前权利人:布鲁克机械公司
变更后权利人:MKS仪器公司
变更事项:地址
变更前权利人:美国麻州雀福市
变更后权利人:美国马萨诸塞州安杜佛市
登记生效日:20141113
2012-07-04  授权
2010-04-28  实质审查的生效IPC(主分类):G01L 21/00申请日:20051129
2010-03-10  公开
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
  • 其他信息
主权项  1.一种用以测量环境中的气体压力的装置,其特征在于其包含: 一真空计;以及 非依电性记忆体,其耦接于该真空计以供稍后的真空计的分析使用, 该非依电性记忆体储存该真空计的测量数据。
公开号  101666697
公开日  2010-03-10
专利代理机构  北京中原华和知识产权代理有限责任公司
代理人  寿宁 张华辉
颁证日  
优先权  2004.12.14 US 11/012,871
国际申请  
国际公布  
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