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一种具有可控范围77K至400K温度的可控温度样品台
无权-未缴年费

申请号:200910092237.6 申请日:2009-09-08
摘要:本发明公开了一种具有可控范围77K至400K温度的可控温度样品台,该可控温度样品台由温控样品台和液氮冷却组件构成,液氮冷却组件为温控样品台提供冷却介质;温控样品台安装在扫描电镜样品台上,液氮冷却组件置于真空室外,在加工过程中,扫描电镜样品台不需要大范围的倾斜或转动,减化了进行微纳料加工时的操作步骤。温控样品台通过液氮和线圈加热的共同作用,来实现待测样品的温度连续控制,可控温度范围77K至400K,控温精度0.1K。
申请人: 北京航空航天大学
地址: 100083北京市海淀区学院路37号
发明(设计)人: 崔益民 王荣明
主分类号: B82B3/00(2006.01)I
分类号: B82B3/00(2006.01)I G05D23/20(2006.01)I
  • 法律状态
2013-11-06  未缴年费专利权终止IPC(主分类):B82B 3/00申请日:20090908授权公告日:20120321终止日期:20120908
2012-03-21  授权
2010-04-14  实质审查的生效IPC(主分类):B82B 3/00申请日:20090908
2010-03-10  公开
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
  • 其他信息
主权项  1、一种具有可控范围77K至400K温度的可控温度样品台,该可控温度样品台适 用于电子束-离子束微纳米加工系统,所述的电子束-离子束微纳米加工系统包括 有真空系统、离子枪、电子枪、测温控制电路和扫描电镜样品台,其特征在于: 该可控温度样品台由温控样品台(1)和液氮冷却组件(6)构成,液氮冷却组件 (6)为温控样品台(1)提供冷却介质;温控样品台(1)与液氮冷却组件(6) 之间通过液氮流量调节组件(7)实现液氮的输出;温控样品台(1)安装在扫描 电镜样品台上,液氮冷却组件(6)置于真空室外; 温控样品台(1)由电加热丝(103)、样品台本体和底座(107)构成,样品台 本体安装在底座(107)上,电加热丝(103)缠绕在样品台本体的凹槽中; 样品台本体上设有水平加工面(108)、斜加工面(101)、空腔(106)、凹槽、 A连接头(104)、B连接头(105)和盲孔(102);盲孔(102)内放置有用于采 集待测样品在加工时的实际温度T1的温度传感器(4);A连接头(104)与液氮冷却 组件(6)的液氮输出管(61)连通;B连接头(105)与液氮流量调节组件(7) 的A三通接头(71)的c端连通;空腔(106)用于储存液氮,能够起到快速降低 样品台本体的温度; 液氮流量调节组件(7)由A三通接头(71)、B三通接头(74)、针阀(73)、 阀门(72)、A管道(75)和B管道(76)构成,针阀(73)安装在A管道(75) 上;阀门(72)安装在B管道(76)上;A管道(75)的一端连接在A三通接头(71) 的a端上,A管道(75)的另一端连接在B三通接头(74)的a端上;B管道(76) 的一端连接在A三通接头(71)的b端上,B管道(76)的另一端连接在B三通接 头(74)的b端上;A三通接头(71)的a端与A管道(75)的一端连接,A三通 接头(71)的b端与B管道(76)的一端连接,A三通接头(71)的c端与样品台 本体上的B连接头(105)连接;B三通接头(74)的a端与A管道(75)的另一 端连接,B三通接头(74)的b端与B管道(76)的另一端连接,B三通接头(74) 的c端开口于大气; 液氮冷却组件(6)包括有液氮、液氮瓶(68)、液氮输出管(61)、液氮添加管 (63)、压力表(66)、以及在紫铜棒(67)上缠绕电加热线(65)构成的加温件, 液氮罐装在液氮瓶(68)内;液氮瓶(68)的瓶颈处安装有密封塞(681),液氮瓶 (68)的瓶口上安装有法兰(682),密封塞(681)和法兰(682)上分别设有多 个通孔,这些通孔分别用于液氮输出管(61)、液氮添加管(63)、连接压力表(66) 的管道和紫铜棒(67)通过;加温件中的电加热线(65)与测温控制电路(5)连接; 压力表(66)用于测量液氮瓶(68)内的液氮在加温件提供的加热条件下升温后产 生的压力;电加热线(65)提供最大300瓦的功率,能够在1~5分钟内使液氮汽 化,使得压力表(66)中的读数在1.3至1.5个的工作大气压;液氮输出管(61) 与A连接头(104)连通,液氮添加管(63)只在添加液氮时打开。
公开号  101665236
公开日  2010-03-10
专利代理机构  北京永创新实专利事务所
代理人  周长琪
颁证日  
优先权  
国际申请  
国际公布  
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