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相位可控多频光纤干涉条纹投射装置
无权-视为撤回

Phase controllable multi-frequency fiber interference fringe projection device

申请号:200910068554.4 申请日:2009-04-21
摘要:本发明涉及多频光纤干涉条纹、三维形貌测量技术,特别涉及一种相位可控多频光纤干涉条纹投射装置。为提供一种测量精度高并且稳定可靠的相位可控多频光纤干涉条纹投射装置,本发明采用的技术方案是:包括形成出射端7、出射端8投射的马赫-泽德干涉仪,还包括迈克尔逊干涉仪,迈克尔逊干涉仪产生的干涉信号由单模光纤耦合器6的非入射端传送给光电探测器10;光电探测器10将光信号转换为电信号传送给伺服系统11;伺服系统11用于通过比较实际相位与目标相位来控制压电陶瓷PZT驱动装置13驱动光纤拉伸器12改变单模光纤耦合器6两输出臂光程差。本发明主要用于三维形貌测量场合。
Abstract: The invention relates to the technology of multi-frequency fiber interference fringes and three-dimensional topography measurement, in particular to a phase controllable multi-frequency fiber interference fringe projection device. In order to provide the phase controllable multi-frequency fiber interference fringe projection device with high measurement precision, stability and reliability, the invention adopts the technical proposal that: the device comprises a Mach-Zehnder interferometer forming the projection of an emergence end 7 and an emergence end 8, and also comprises a Michelson interferometer; an interference signal generated by the Michelson interferometer is transmitted to a photoelectric detector 10 through a non-incident end of a single-mode fiber coupler 6; the photoelectric detector 10 converts an optical signal into an electric signal and transmits the electric signal to a servo system 11; and the servo system 11 is used for controlling a piezoelectric ceramics PZT driving device 13 by comparing an actual phase and a target phase to drive a fiber stretcher 12 to change the optical path difference of two output arms of the single-mode fiber coupler 6. The device is mainly applied in three-dimensional topography measurement occasions.
申请人: 天津大学
Applicant: UNIV TIANJIN[CN]
地址: 300072天津市南开区卫津路92号
发明(设计)人: 段发阶 肖海 张聪 杨涛
Inventor: FAJIE DUAN[CN]; HAI XIAO[CN]; CONG ZHANG[CN]; TAO YANG[CN]
主分类号: G01B11/25(2006.01)I
分类号: G01B11/25(2006.01)I G02B6/42(2006.01)I
  • 法律状态
2011-06-01  发明专利申请公布后的视为撤回IPC(主分类):G01B 11/25公开日:20091021
2009-12-16  实质审查的生效
2009-10-21  公开
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
  • 其他信息
主权项  1、一种相位可控多频光纤干涉条纹投射装置,其特征是,包括有:激光器(1)和不同频率 的另一激光器(2)、每个激光器分别对应配备有偏振控制器(3)和另一偏振控制器(4), 还包括WDM耦合器(5)、单模光纤耦合器(6)、光电探测器PD(10)、伺服控制系统(11)、 光纤拉伸器(12)、压电陶瓷PZT驱动装置(13),所述激光器(1)、另一激光器(2)发 射的激光分别经偏振控制器(3)、另一偏振控制器(4)后耦合进WDM耦合器(5),所 述WDM耦合器(5)与单模光纤耦合器(6)相连,不同频率的激光经单模光纤耦合器(6) 分光后分别经光纤由出射端(7)、另一出射端(8)投射,前述本发明组成部分构成马赫- 泽德干涉仪,并在两出射端发生杨氏双孔干涉从而将多频干涉条纹投射到光屏(14)处, 并由光电探测器或摄象机接收;所述单模光纤耦合器(6)与出射端(7)和另一出射端(8) 的反射光路构成迈克尔逊干涉仪,迈克尔逊干涉仪产生的干涉信号由单模光纤耦合器(6) 的非入射端(9)传送给光电探测器(10);光电探测器(10)将光信号转换为电信号传送 给伺服系统(11);伺服系统(11)用于通过比较实际相位与目标相位来控制压电陶瓷PZT 驱动装置(13)驱动光纤拉伸器(12)改变单模光纤耦合器(6)两输出臂光程差。
公开号  101561259A
公开日  2009-10-21
专利代理机构  天津市北洋有限责任专利代理事务所
代理人  刘国威
颁证日  
优先权  
 
国别 优先权号 优先权日 类型
CN  200910068554  20090421 
国际申请  
国际公布  
进入国家日期  
  • 专利对比文献
类型 阶段 文献号 公开日期 涉及权利要求项 相关页数
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同族专利
 
引用文献
 
被引用文献
CN102012561ACN102183490ACN102679908A
CN102679909ACN103575236ACN106152934A
CN108205817A