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蓝宝石的抛光装置及其抛光方法
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申请号:200910037054.4 申请日:2009-02-03
摘要:本发明是一种蓝宝石的抛光装置及其抛光方法。本发明抛光装置包括有激光光束、支撑板、工作台、连接件,其中工作台上装设有驱动其作X方向运动的步进电机及驱动其作Y方向运动的步进电机,连接件固定在工作台上,支撑板装设在连接件上,待抛光的蓝宝石晶片固定在支撑板上,激光光束从待抛光的蓝宝石晶片的上方辐射到蓝宝石晶片上,驱动工作台作X方向运动的步进电机及驱动工作台作Y方向运动的步进电机均与控制装置连接。本发明由于通过调节激光光束的入射角;通过控制工作台从而控制工件的X、Y方向的运动,控制工件相对激光光束的运动轨迹,实现蓝宝石晶片表面的全面扫描抛光。本发明能够实现非常微量的材料去除,并且可降低甚至消除热对蓝宝石材料的影响,获得低表面粗糙度和亚表面损伤程度的抛光表面。
申请人: 广东工业大学
地址: 510006广东省广州市番禺区广州大学城外环西路100号
发明(设计)人: 魏昕 谢小柱 胡伟 郭晓艳 谢昕 黄加福
主分类号: B24B9/16(2006.01)I
分类号: B24B9/16(2006.01)I
  • 法律状态
2011-11-09  授权
2010-04-28  实质审查的生效IPC(主分类):B24B 9/16申请日:20090203
2010-03-10  公开
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
  • 其他信息
主权项  1、一种蓝宝石的抛光装置,其特征在于包括有激光光束(1)、支撑板(4)、 工作台(6)、驱动工作台(6)作X方向运动的步进电机(7)、驱动工作台(6) 作Y方向运动的步进电机(8)、连接件(9),其中工作台(6)上装设有驱动 其作X方向运动的步进电机(7)及驱动其作Y方向运动的步进电机(8),连 接件(9)固定在工作台(6)上,支撑板(4)装设在连接件(9)上,待抛光 的蓝宝石晶片(2)固定在支撑板(4)上,激光光束(1)从待抛光的蓝宝石 晶片(2)的上方辐射到蓝宝石晶片(2)上,驱动工作台(6)作X方向运动 的步进电机(7)、驱动工作台(6)作Y方向运动的步进电机(8)均与控制装 置连接。
公开号  101664894
公开日  2010-03-10
专利代理机构  广州粤高专利商标代理有限公司
代理人  林丽明
颁证日  
优先权  
国际申请  
国际公布  
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