搜索 分析 新世界 法规 图书 网址导航 更多
高级用户登录 | 登录 | |

一种应力传感测试结构
无权-未缴年费

申请号:200910035272.4 申请日:2009-09-23
摘要:本发明公开了一种应力传感测试结构,该测试结构包括两个垂直位置摆放且串联连接的折弯型压阻(1)和压阻两侧反应离子刻蚀的应力隔离槽(2),在两个折弯型压阻(1)的两头设有第一金属引线(3)和第二金属引线(4),在两个折弯型压阻(1)的连接处设有第三金属引线(5)。检测应力时,利用应力隔离槽(2)隔离掉由两边区域传递给压阻结构的某一个方向的应力,在平面应力测试时,平面剪应力可忽略情况下(如电子封装领域),测试结构能同时检测两个垂直的主应力分量,简化了一般测试结构所需采用的四个压阻的饰环结构的设计,降低了工艺要求。大大减小了测试的复杂度。
申请人: 东南大学
地址: 210096江苏省南京市四牌楼2号
发明(设计)人: 魏松胜 宋竞 唐洁影
主分类号: G01L1/22(2006.01)I
分类号: G01L1/22(2006.01)I
  • 法律状态
2017-11-03  未缴年费专利权终止 IPC(主分类):G01L 1/22申请日:20090923授权公告日:20110216终止日期:20160923
2011-02-16  授权
2010-04-28  实质审查的生效IPC(主分类):G01L 1/22申请日:20090923
2010-03-10  公开
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
  • 其他信息
主权项  1、一种应力传感测试结构,其特征在于该测试结构包括两个垂直位置摆放 且串联连接的折弯型压阻(1)和压阻两侧反应离子刻蚀的应力隔离槽(2),在 两个折弯型压阻(1)的两头设有第一金属引线(3)和第二金属引线(4),在两 个折弯型压阻(1)的连接处设有第三金属引线(5)。
公开号  101666692
公开日  2010-03-10
专利代理机构  南京经纬专利商标代理有限公司
代理人  叶连生
颁证日  
优先权  
国际申请  
国际公布  
进入国家日期