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一种烧绿石型涂层导体阻隔层的制备方法
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申请号:200910023981.0 申请日:2009-09-18
摘要:本发明公开了一种烧绿石型涂层导体阻隔层的制备方法,方法为:将含有3个结晶水的乙酰丙酮镧和乙酰丙酮四乙醇钽固体按照摩尔比为3∶1的比例称取后混合,然后加入丙酸和甲醇混合溶剂溶解,配制成前驱液;将前驱液旋涂于用丙酮超声清洗过的基底上,将涂好的基底置于管式炉中,于还原性气氛中高温热处理,然后冷却至室温即制得LA3TAO7阻隔层。本发明首先采用常规简单金属盐配制前驱液,然后再采用一步快速热处理的制备方法,制备的LA3TAO7阻隔层薄膜具有良好C轴织构和平整表面,有效地提高了前驱液的稳定性,同时也简化了前驱液的配制条件和阻隔层的制备工艺;本发明可实现LA3TAO7阻隔层的低成本、大规模制备。
申请人: 西北有色金属研究院
地址: 710016陕西省西安市未央区未央路96号
发明(设计)人: 王耀 卢亚锋 李成山 金利华 于泽铭
主分类号: C23C20/08(2006.01)I
分类号: C23C20/08(2006.01)I H01B12/06(2006.01)I
  • 法律状态
2011-07-20  授权
2010-04-28  实质审查的生效IPC(主分类):C23C 20/08申请日:20090918
2010-03-10  公开
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
  • 其他信息
主权项  1.一种烧绿石型涂层导体阻隔层的制备方法,其特征在于,制备过程 为: (1)将含有3个结晶水的乙酰丙酮镧和乙酰丙酮四乙醇钽固体按照 摩尔比为3∶1的比例称取后混合,然后加入体积比为1-10∶1的丙酸和甲 醇混合溶剂溶解,配制成总摩尔浓度为c的前驱液,其中0.1≤c≤1.0 mol/L; (2)将步骤(1)中的前驱液以2500-4000转/分钟的速率旋涂于用丙 酮超声清洗过的基底上,将涂好的基底置于管式炉中,从室温以不低于 300℃/分钟的升温速率加热,于还原性气氛中在1000-1150℃恒温0.5-1小 时,最后以不低于2℃/分钟的降温速率冷却至室温,即制得La3TaO7阻隔 层;所述还原性气氛为按体积百分比计的Ar-4%H2或N2-5%H2。
公开号  101665932
公开日  2010-03-10
专利代理机构  西安创知专利事务所
代理人  李子安
颁证日  
优先权  
国际申请  
国际公布  
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