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弹性波元件
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申请号:200880013992.4 申请日:2008-05-09
摘要:本发明的弹性波元件,具备:压电基板、设置于压电基板上的梳形电极、覆盖梳形电极的氧化硅膜、设置于氧化硅膜上的氮氧化硅膜。氧化硅膜的膜厚H和在压电基板传播的弹性波的波长Λ满足H/Λ≥0.15的关系。该弹性波元件抑制弹性波的传播特性的变动,具有高可靠性。
申请人: 松下电器产业株式会社
地址: 日本大阪府
发明(设计)人: 岩崎行绪 上口洋辉 滨冈阳介
主分类号: H03H9/145(2006.01)I
分类号: H03H9/145(2006.01)I H01L41/18(2006.01)I H01L41/09(2006.01)I
  • 法律状态
2016-11-02  专利权人的姓名或者名称、地址的变更 IPC(主分类):H03H 9/145变更事项:专利权人变更前:天工松下滤波方案日本有限公司变更后:天工滤波方案日本有限公司变更事项:地址变更前:日本大阪府变更后:日本大阪府
2015-02-18  专利权的转移IPC(主分类):H03H 9/145变更事项:专利权人变更前权利人:松下电器产业株式会社变更后权利人:天工松下滤波方案日本有限公司变更事项:地址变更前权利人:日本大阪府变更后权利人:日本大阪府登记生效日:20150126
2013-01-02  授权
2010-04-28  实质审查的生效IPC(主分类):H03H 9/145申请日:20080509
2010-03-10  公开
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
  • 其他信息
主权项  1、一种弹性波元件,其具备: 压电基板、 设置于所述压电基板上的梳形电极、 覆盖所述梳形电极的氧化硅膜、 设置于所述氧化硅膜上的氮氧化硅膜, 所述氧化硅膜的膜厚H和在所述压电基板传播的弹性波的波长λ满足 H/λ≥0.15的关系。
公开号  101669285
公开日  2010-03-10
专利代理机构  北京市柳沈律师事务所
代理人  张劲松
颁证日  
优先权  2007.5.25 JP 138591/2007;2008.3.27 JP 082801/2008
国际申请  2008-05-09 PCT/JP2008/001165
国际公布  2008-12-04 WO2008/146449 日
进入国家日期  2009.10.28