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抗蚀剂剥离剂组合物
无权-视为撤回

申请号:200880013980.1 申请日:2008-06-27
摘要:本发明提供:在使用温度下为液体、较难使铜等金属腐蚀、并且容易过滤而易于再次利用的抗蚀剂剥离剂组合物。本发明的抗蚀剂剥离剂组合物的特征在于,含有具有3~6元环的环状酯(碳酸亚乙酯、碳酸亚丙酯等)、具有低级烷基的酮类(丙酮、甲基乙基酮等)、及特定的亚烷基二醇单烷基醚类(乙二醇单乙基醚、二乙二醇单丁基醚等)中的一种、与特定的环状酰胺类(N-甲基-2-吡咯烷酮等)或特定的直链状酰胺类(N,N-二甲基乙酰胺、N,N-二乙基乙酰胺等)的混合物。
申请人: 东亚合成株式会社
地址: 日本东京
发明(设计)人: 田口裕务 住田正直
主分类号: G03F7/42(2006.01)I
分类号: G03F7/42(2006.01)I H01L21/027(2006.01)I H01L21/304(2006.01)I
  • 法律状态
2012-07-25  发明专利申请公布后的视为撤回IPC(主分类):G03F 7/42公开日:20100310
2010-04-28  实质审查的生效IPC(主分类):G03F 7/42申请日:20080627
2010-03-10  公开
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
  • 其他信息
主权项  1、抗蚀剂剥离剂组合物,其特征在于,含有具有3~6元环的环 状酯;下式(1)表示的化合物、下式(2)表示的化合物及下式(3)表示的 化合物中的一种;与下式(4)表示的化合物或下式(5)表示的化合物的 混合物, [化1] 式(1)中,R1及R2表示碳原子数4以下的烷基, [化2] 式(2)中,R3及R4中的任一个为氢原子,另一个表示碳原子数4 以下的烷基, [化3] 式(3)中,R5~R7表示氢原子或者碳原子数2以下的烷基,R8表示 碳原子数3以下的亚烷基, [化4] 式(4)中,R9表示氢原子或者碳原子数3以下的烷基, [化5] 式(5)中,R10表示氢原子或者碳原子数3以下的烷基,R11及R12分 别表示碳原子数3以下的烷基。
公开号  101669072
公开日  2010-03-10
专利代理机构  中国国际贸易促进委员会专利商标事务所
代理人  陈昕
颁证日  
优先权  2007.7.3 JP 175640/2007
国际申请  2008-06-27 PCT/JP2008/061763
国际公布  2009-01-08 WO2009/005014 日
进入国家日期  2009.10.28