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热表面处理工艺中低温冷却的设备及方法
无权-驳回

申请号:200880013382.4 申请日:2008-04-25
摘要:本发明提供用于防止基材热表面处理工艺期间一种或更多掩模材料降解的设备及方法,该方法具有下列步骤:在基材上安装至少一个包含一种或更多掩模材料的掩模;热表面处理该基材表面,其提高了该基材的温度;及利用来自被导引至该基材的至少一个冷却装置的低温流体来冷却该一种或更多掩模材料。
申请人: 气体产品与化学公司
地址: 美国宾夕法尼亚州
发明(设计)人: M·塞耶 Z·朱雷基
主分类号: C23C14/04(2006.01)I
分类号: C23C14/04(2006.01)I C23C16/04(2006.01)I
  • 法律状态
2013-03-20  发明专利申请公布后的驳回IPC(主分类):C23C 14/04申请公布日:20100310
2010-04-28  实质审查的生效IPC(主分类):C23C 14/04申请日:20080425
2010-03-10  公开
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
  • 其他信息
主权项  1.一种防止基材热表面处理工艺期间一种或更多掩模材料降解的 方法,该方法包含下列步骤: 在基材上安装至少一个包含一种或更多掩模材料的掩模; 热表面处理该基材表面,其提高了该基材的温度;及 用来自被导引至该基材的至少一个冷却装置的低温流体来冷却该一 种或更多掩模材料。
公开号  101668876
公开日  2010-03-10
专利代理机构  中国专利代理(香港)有限公司
代理人  刘锴 孙秀武
颁证日  
优先权  2007.4.26 US 60/926,351;2008.4.21 US 12/106,565
国际申请  2008-04-25 PCT/US2008/061491
国际公布  2008-11-06 WO2008/134467 英
进入国家日期  2009.10.23