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用于把金属前体层热转变成半导体层、以及太阳能电池组件的方法和装置
有权
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申请号:200880013267.7 申请日:2008-09-11
摘要:本发明涉及一种用于把衬底上的金属前体层热转变成半导体层的方法,以及执行该方法和用于在衬底上形成太阳能电池组件的装置。本发明的目的是提供快速并且简单可行的方法,用于把任意所需衬底上的金属层转变成半导体层,和适于实施该方法和用于高效率形成太阳能电池组件的装置。通过使预先至少准备有金属前体层(10)的衬底(4)在炉子(1)内在多个步骤中在大约大气外界压力下加热,然后转变成半导体层,该炉子被分成多个温度区域,每种情况中预定温度达到400℃至600℃之间的最终温度,同时在包含运载气体和硫属元素蒸汽的混合气体中保持最终温度。
申请人: 森托塞姆光伏股份有限公司
地址: 德国布劳博伊伦
发明(设计)人: 迪特尔·施密德 莱因哈德·伦兹 罗伯特·迈克尔·阿通
主分类号: C23C14/06(2006.01)I
分类号: C23C14/06(2006.01)I C23C14/56(2006.01)I C23C14/58(2006.01)I
  • 法律状态
2013-06-12  授权
2010-10-06  实质审查的生效IPC(主分类):C23C 14/06申请日:20080911
2010-03-10  公开
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
  • 其他信息
主权项  1、一种用于把衬底上的金属前体层热转变成半导体层的方法, 其特征在于,使预先至少准备有金属前体层(10)的衬底(4)在炉子 (1)内加热,该炉子被分成多个温度区域,在多个步骤中在大约 外界大气压力下,每种情况中预定温度达到400℃至600℃之间的 最终温度,同时在包含运载气体和蒸汽硫属元素的混合气体中保持 最终温度,转变成半导体层。
公开号  101668877
公开日  2010-03-10
专利代理机构  北京安信方达知识产权代理有限公司
代理人  韩龙 阎娬斌
颁证日  
优先权  2007.9.11 DE 102007043051.7;2007.10.1 DE 102007047098.5;2007.10.1 DE 102007047099.3;2007.10.8 DE 102007048204.5
国际申请  2008-09-11 PCT/EP2008/007466
国际公布  2009-03-19 WO2009/033674 英
进入国家日期  2009.10.23