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基板保持机构和具有该保持机构的基板组装装置
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申请号:200880012654.9 申请日:2008-04-15
摘要:本发明提供一种基板保持机构和具有该保持机构的基板组装装置,该基板组装装置(20)包括支承台(21)和保持机构(22)。支承台(21)用来支承下侧基板(LW),保持机构(22)包括保持面和功能性元件。上述保持面用来保持上侧基板(UW)的上表面,上述功能性元件设置在上述保持面上,其保持力会根据电压大小的改变而变化。上述保持机构会使上侧基板(UW)的下表面和被上述支承台(21)所支承的下侧基板(LW)的上表面面对。采用上述基板保持机构时,可以对作用给基板(UW)的保持力进行电气控制。可以有助于简化保持机构的结构。此外,由于可以平稳地改变作用给基板(UW)的保持力,所以也能够始终正常地保持或释放厚度较薄的基板。
申请人: 株式会社爱发科
地址: 日本神奈川县
发明(设计)人: 武者和博 南展史 川口崇文
主分类号: H01L21/683(2006.01)I
分类号: H01L21/683(2006.01)I B65G49/06(2006.01)I G02F1/13(2006.01)I G09F9/00(2006.01)I
  • 法律状态
2011-06-15  授权
2010-04-28  实质审查的生效IPC(主分类):H01L 21/683申请日:20080415
2010-03-10  公开
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
  • 其他信息
主权项  1.一种基板保持机构,其特征在于: 包括保持体和功能性元件,所述保持体具有用来保持基板的保持 面,所述功能性元件设置在所述保持面上,其保持力会根据电压大小 的改变而变化。
公开号  101669199
公开日  2010-03-10
专利代理机构  北京华夏正合知识产权代理事务所
代理人  韩登营
颁证日  
优先权  2007.4.19 JP 110372/2007
国际申请  2008-04-15 PCT/JP2008/057367
国际公布  2008-10-30 WO2008/129989 日
进入国家日期  2009.10.19