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清洗装置
无权-未缴年费

申请号:200810186209.6 申请日:2008-12-17
摘要:公开了一种稳定地清洗基板的清洗装置。该清洗装置包括引导从外部供给的基板沿正确方向进入的基板入口引导单元;由所述基板入口引导单元供给所述基板以清除在所述基板上形成的灰尘的灰尘清除单元;由所述灰尘清除单元供给所述基板以清洗掉残留在所述基板上的残余灰尘的灰尘清洗单元;和控制从所述灰尘清洗单元卸下的所述基板的位置的位置控制单元。
申请人: 乐金显示有限公司
地址: 韩国首尔
发明(设计)人: 吴泰英 李辉宰 金健勇 李殷河
主分类号: B08B11/00(2006.01)I
分类号: B08B11/00(2006.01)I B08B7/04(2006.01)I B65G49/00(2006.01)I B08B1/00(2006.01)I B08B5/00(2006.01)I B08B3/00(2006.01)I
  • 法律状态
2015-02-04  未缴年费专利权终止IPC(主分类):B08B 11/00申请日:20081217授权公告日:20120711终止日期:20131217
2012-07-11  授权
2010-04-28  实质审查的生效IPC(主分类):B08B 11/00申请日:20081217
2010-03-10  公开
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
  • 其他信息
主权项  1.一种清洗装置,包括: 引导从外部供给的基板沿正确方向进入的基板入口引导单元; 由所述基板入口引导单元供给所述基板以清除在所述基板上形成的灰 尘的灰尘清除单元; 由所述灰尘清除单元供给所述基板以清洗掉残留在所述基板上的残余 灰尘的灰尘清洗单元;和 控制从所述灰尘清洗单元卸下的所述基板的位置的位置控制单元。
公开号  101664748
公开日  2010-03-10
专利代理机构  北京律诚同业知识产权代理有限公司
代理人  徐金国
颁证日  
优先权  2008.9.4 KR 10-2008-0087119
国际申请  
国际公布  
进入国家日期