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电容式多轴加速度计
有权
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申请号:200810179780.5 申请日:2008-12-03
摘要:一种电容式多轴加速度计,其主要是在基板上的支撑基座间设有第一质量块,此第一质量块是透过两悬臂以非对称的方式悬挂设置在支撑基座上,以感测垂直于基板方向的第一方向加速度;在第一质量块内,设置有第二质量块,此第二质量块是透过弹簧组被悬挂设置在第一质量块上,以感测平行于基板方向的第二方向加速度;在第二质量块内,亦可设置有第三质量块,此第三质量块透过弹簧组被悬挂设置在第二质量块上,以感测第三方向的加速度。其中,第一方向、第二方向和第三方向彼此正交。本发明可有效提高电容式多轴加速度计的线性度、降低它轴的灵敏度与感测结构的尺寸,优越的性能将满足例如游戏机、手机与3D指向器等消费性产品和传统汽车安全应用的需求。
申请人: 财团法人工业技术研究院
地址: 中国台湾新竹县
发明(设计)人: 简欣堂 许郁文 陈士
主分类号: G01P15/18(2006.01)I
分类号: G01P15/18(2006.01)I G01P15/125(2006.01)I
  • 法律状态
2011-12-21  授权
2010-04-28  实质审查的生效IPC(主分类):G01P 15/18申请日:20081203
2010-03-10  公开
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
  • 其他信息
主权项  1.一种电容式多轴加速度计,至少包括: 基板;以及 半导体结构层,配置在该基板上,并与该基板有间距分离,而该半导体 结构层包括: 支撑基座,被固定在该基板; 多个独立弹簧组,至少包括第一独立弹簧组和第二独立弹簧组; 第一质量块,其透过该第一独立弹簧组以非对称的方式悬挂设置在该支 撑基座,且沿第一方向具有转动轴,使该第一质量块在第二方向上呈现不对 称性,并在该第一质量块在第三方向受力时,将以该转动轴为中心转动; 第二质量块,透过该第二独立弹簧组被悬挂设置在该第一质量块上,而 该第二质量块可以感测在该第一方向或该第二方向上的加速度大小,而对应 地沿该第一方向或是该第二方向平移;以及 至少一梳状电容组,配置在该半导体结构层。
公开号  101666813
公开日  2010-03-10
专利代理机构  北京市柳沈律师事务所
代理人  彭久云
颁证日  
优先权  2008.9.5 US 61/094,411
国际申请  
国际公布  
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