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一种含铝类金刚石碳膜及其制备方法
无权-驳回

申请号:200810150860.8 申请日:2008-09-04
摘要:本发明公开了一种含铝类金刚石碳膜及其制备方法。薄膜为类金刚石结构,薄膜中金属铝的质量分数为3%-20%,余量为碳;金属铝以原子态分散于非晶类金刚石碳膜中,铝与碳不成键,薄膜厚度介于500-5000纳米之间。本发明的含铝类金刚石碳膜具有很低的内应力、较高的硬度、良好膜/基结合力和良好的耐磨性能。
申请人: 中国科学院兰州化学物理研究所
地址: 730000甘肃省兰州市城关区天水中路18号
发明(设计)人: 王立平 张广安 薛群基
主分类号: C23C14/06(2006.01)I
分类号: C23C14/06(2006.01)I C23C14/35(2006.01)I
  • 法律状态
2011-11-23  发明专利申请公布后的驳回IPC(主分类):C23C 14/06公开日:20100310
2010-04-28  实质审查的生效IPC(主分类):C23C 14/06申请日:20080904
2010-03-10  公开
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
  • 其他信息
主权项  1、一种含铝类金刚石碳膜,其特征在于薄膜为类金刚石结构,薄膜中金属 铝的质量分数为3%-20%,余量为碳;金属铝以原子态分散于非晶类金刚石碳膜 中,铝与碳不成键,薄膜厚度介于500-5000纳米之间。
公开号  101665904
公开日  2010-03-10
专利代理机构  兰州中科华西专利代理有限公司
代理人  方晓佳
颁证日  
优先权  
国际申请  
国际公布  
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