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超亲水透明二氧化钛纳米薄膜的制备方法
无权-视为撤回

申请号:200810150851.9 申请日:2008-09-04
摘要:本发明公开了超亲水透明二氧化钛纳米薄膜的制备方法。本发明的制得的薄膜厚度在220NM左右,透明,低温退火不经紫外光照即具有超亲水性,该薄膜由粒径为30-45NM、分布均匀的纳米小颗粒组成,其晶体结构为锐钛矿相TIO2。可用于建筑物玻璃、汽车后视镜、挡风玻璃、浴室玻璃等各种防雾化场合。
申请人: 中国科学院兰州化学物理研究所
地址: 730000甘肃省兰州市城关区天水中路18号
发明(设计)人: 冶银平 杜雯 李红轩 陈建敏 周惠娣
主分类号: C03C17/23(2006.01)I
分类号: C03C17/23(2006.01)I
  • 法律状态
2012-04-18  发明专利申请公布后的视为撤回IPC(主分类):C03C 17/23公开日:20100310
2010-04-28  实质审查的生效IPC(主分类):C03C 17/23申请日:20080904
2010-03-10  公开
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
  • 其他信息
主权项  1、一种超亲水透明二氧化钛纳米薄膜的制备方法,其特征在于该方法具 体包括以下步骤: A、样品清洗:依次分别用丙酮、无水乙醇以及蒸馏水超声波清洗玻璃片数 次,每次超声时间为5~15min; B、置样:将清洗干净的玻璃片放置在真空磁控溅射镀膜装置中三维公自转 样品架上; C、抽本底真空:打开机械泵、分子泵,抽本底真空至1.2×10-3Pa~7.6×10-3Pa.; D、等离子体清洗样品表面:在反应腔室中通入Ar气,并使反应腔室温度 温度升至150℃~350℃,调节脉冲偏压值为200~600V;产生等离子体清洗样 品表面20min。之后缓慢调小偏压,关闭偏压; E、溅射镀膜:调小Ar气气流量至20~100sccm;调节溅射电流值为5~20A, 溅射功率为2~4KW,偏压值为100~250V;2~5min后通入02气流量为15~ 25sccm,溅射压强值为2.0~4.5×10-1Pa,镀膜时间为2~4小时; F、关机:关闭加热按钮,关闭溅射及偏压电源,调小气流量,关闭气体, 关真空泵; G、样品退火:将镀膜所制样品放入马弗炉中,升温升至200℃~500℃,保温10小时, 冷却。
公开号  101665328
公开日  2010-03-10
专利代理机构  兰州中科华西专利代理有限公司
代理人  方晓佳
颁证日  
优先权  
国际申请  
国际公布  
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