搜索 分析 新世界 法规 图书 网址导航 更多
高级用户登录 | 登录 | |

基于剪应力检测的石英微机械陀螺及其制作方法
有权
阅读授权文献

Rock quartz micro mechanical gyroscope based on shear stress detection and method for making same

申请号:200810143292.9 申请日:2008-09-25
摘要:一种基于剪应力检测的石英微机械陀螺及制作方法,它包括支撑质量块、第一悬臂梁、第二悬臂梁、第一驱动梁、第二驱动梁、四个可动质量块以及驱动电极和检测电极,所述第一悬臂梁和第二悬臂梁对称布置于支撑质量块的两端,支撑质量块通过第一悬臂梁与第一驱动梁相连,支撑质量块通过第二悬臂梁与和第二驱动梁相连,所述第一驱动梁和第二驱动梁的布置方向与第一悬臂梁和第二悬臂梁的布置方向垂直,所述四个可动质量块分别固定于第一驱动梁和第二驱动梁的端部。本发明是一种结构简单紧凑、成本低廉、制作工艺简单、灵敏度高、抗干扰能力强的基于剪应力检测的石英微机械陀螺及制作方法。
Abstract: The invention relates to a quartz micromechanical gyroscope which is based on the shear stress detection and a manufacturing method. The quartz micromechanical gyroscope comprises a support quality block, a first cantilever beam, a second cantilever beam, a first driving beam, a second driving beam, four movable quality blocks, a driving electrode and a detection electrode; the first cantilever beam and the second cantilever beam are symmetrically arranged on both ends of the support quality block; the support quality block is connected with the first driving beam through the first cantilever beam; the support quality block is connected with the second driving beam through the second cantilever beam; the arrangement direction of the first driving beam and the second driving beam is perpendicular to the arrangement direction of the first cantilever beam and the second cantilever beam; and the four movable quality blocks are respectively fixed at the end parts of the first driving beam and the second driving beam. The invention provides the quartz micromechanical gyroscope which is based on the shear stress detection and has the advantages of simple and compact structure, low cost, simple manufacture process, high sensitivity and strong anti-interference ability and the manufacturing method.
申请人: 中国人民解放军国防科学技术大学
Applicant: NAT UNIV DEFENSE TECHNOLOGY[CN]
地址: 410073湖南省********(隐藏)
发明(设计)人: 吴学忠 李圣怡 谢立强 肖定邦 董培涛 满海鸥 王浩旭
Inventor: XUEZHONG WU[CN]; SHENGYI LI[CN]; LIQIANG XIE[CN]; DINGBANG XIAO[CN]; PEITAO DONG[CN]; HAIOU MAN[CN]; HAOXU WANG[CN]
主分类号: G01C19/56(2006.01)I
分类号: G01C19/56(2006.01)I B81B7/02(2006.01)I B81C1/00(2006.01)I
  • 法律状态
2011-01-26  授权
2009-04-08  实质审查的生效
2009-02-11  公开
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
  • 其他信息
主权项  1、一种基于剪应力检测的石英微机械陀螺,其特征在于:它包括支撑质量块(2)、第一 悬臂梁(3)、第二悬臂梁(4)、第一驱动梁(5)、第二驱动梁(6)、四个可动质量块以及驱 动电极和检测电极,所述第一悬臂梁(3)和第二悬臂梁(4)对称布置于支撑质量块(2)的 两端,支撑质量块(2)通过第一悬臂梁(3)与第一驱动梁(5)相连,支撑质量块(2)通 过第二悬臂梁(4)与和第二驱动梁(6)相连,所述第一驱动梁(5)和第二驱动梁(6)的 布置方向与第一悬臂梁(3)和第二悬臂梁(4)的布置方向垂直,所述四个可动质量块分别 固定于第一驱动梁(5)和第二驱动梁(6)的端部。
公开号  101363731A
公开日  2009-02-11
专利代理机构  湖南兆弘专利事务所
代理人  陈晖
颁证日  
优先权  
 
国别 优先权号 优先权日 类型
CN  200810143292  20080925 
国际申请  
国际公布  
进入国家日期  
  • 专利对比文献
类型 阶段 文献号 公开日期 涉及权利要求项 相关页数
注:不保证该信息的有效性、完整性、准确性,以上信息也不具有任何效力,仅供参考。使用前请另行委托专业机构进一步查核,使用该信息的一切后果由用户自行负责。
X:单独影响权利要求的新颖性或创造性的文件;
Y:与检索报告中其他 Y类文件组合后影响权利要求的创造性的文件;
A:背景技术文件,即反映权利要求的部分技术特征或者有关的现有技术的文件;
R:任何单位或个人在申请日向专利局提交的、属于同样的发明创造的专利或专利申请文件;
P:中间文件,其公开日在申请的申请日与所要求的优先权日之间的文件,或会导致需核实该申请优先权的文件;
E:单独影响权利要求新颖性的抵触申请文件。
  • 期刊对比文献
类型 阶段 期刊文摘名称 作者 标题 涉及权利要求项 相关页数
  • 书籍对比文献
类型 阶段 书名 作者 标题 涉及权利要求项 相关页数
  • 附加信息
同族专利
CN101363731B
 
引用文献
 
被引用文献
US10139228B2US10371521B2US9927241B2
CN106323155ACN107289920ATWI583922B
TWI583923B