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用于高温压电器件的无铅双层铁电复合薄膜及其制备方法
无权-未缴年费

申请号:200810140200.1 申请日:2008-09-12
摘要:本发明属于铁电复合薄膜材料技术领域,具体涉及一种用于高温压电器件的无铅双层铁电复合薄膜材料及其制备方法。本发明采用化学溶液法结合层层快速退火工艺,制备在衬底材料上生长作为底层的高(110)-或(111)-取向的BIFEO3薄膜和作为表层的高居里点铋系层状钙钛矿薄膜,其中高(110)-或(111)-取向的BIFEO3薄膜,厚度为0.1ΜM~1ΜM,高居里点铋系层状钙钛矿薄膜,厚度为10NM~60NM。本发明在500℃~600℃的退火温度下得到了具有大剩余极化、低漏电流、抗疲劳性能好和高压电常数的无铅双层铁电复合薄膜,在未来的高温压电器件中具有良好的实用前景。
申请人: 济南大学
地址: 250022山东省济南市市中区济微路106号济南大学材料科学与工程学院
发明(设计)人: 胡广达 闫静 武卫兵 杨长红 程玲 殷在梅 王金翠
主分类号: C04B41/52(2006.01)I
分类号: C04B41/52(2006.01)I
  • 法律状态
2014-11-05  未缴年费专利权终止
IPC(主分类):C04B 41/52
申请日:20080912
授权公告日:20110112
终止日期:20130912
2011-01-12  授权
2009-04-15  实质审查的生效
2009-02-18  公开
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
  • 其他信息
主权项  1.一种用于高温压电器件的无铅双层铁电复合薄膜,其特征在于:在衬底材料上生长 作为底层的高(110)-或(111)-取向的BiFeO3薄膜和作为表层的高居里点铋系层状钙 钛矿薄膜。
公开号  101367671
公开日  2009-02-18
专利代理机构  济南泉城专利商标事务所
代理人  李桂存
颁证日  
优先权  
国际申请  
国际公布  
进入国家日期