CN200810071868
CN101372327B
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摘要：一种碳纳米管阵列的生长方法，涉及一种碳纳米管，尤其是涉及一种低能耗、无炉生长超长碳纳米管阵列的方法。提供一种碳纳米管阵列的生长方法。提供一基底，在该基底上表面依次溅射一层缓冲层和一层催化剂层，得上表面溅射有一层缓冲层和一层催化剂的基底；将上表面溅射有一层缓冲层和一层催化剂的基底放在加热片上；启动微区加热控制电源，直接以加热片为加热装置对基底加热；通入载气和碳源气；关闭微区加热控制器电源，将基底取出，得到样品。 |
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| Abstract： A method for growing a carbon nanotube array relates to a carbon nanotube, in particular to a furnace-free method for growing a very long carbon nanotube array with low energy consumption. The invention provides a method for growing a carbon nanotube array. A substrate is provided, a buffer layer and a catalyst layer are sputtered successively on the surface of the substrate to obtain the substrate with the top surface sputtered with the buffer layer and the catalyst layer; the substrate with the top surface spurted with the buffer layer and the catalyst layer is put on a heating element; a micro-area heating control power supply is switched on, the heating element is directly taken as a heating device to heat the substrate; a carrier gas and a carbon source gas are filled in; then the micro-area heating control power supply is switched off, the substrate is taken out to obtain a sample. | |
| 申请人： 厦门大学 | |
| Applicant： UNIV XIAMEN | |
| 地址： 361005 福建省厦门市思明南********(隐藏) | |
| 发明(设计)人： 谢素原 马春印 林水潮 江智渊 黄荣彬 郑兰荪 | |
| Inventor： CHUNYIN MA; LANSUN ZHENG; ZHIYUAN JIANG; SUYUAN XIE; RONGBIN HUANG; SHUICHAO LIN | |
| 主分类号： C01B31/02 | |
| 分类号： C01B31/02 C23C14/34 C23C14/06 | |
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| 2011-03-23 | 授权 |
| 2009-04-22 | 实质审查的生效 |
| 2009-02-25 | 公开 |
| 主权项 | 一种碳纳米管阵列的生长方法，其特征在于包括以下步骤：1)提供一基底，在该基底上表面依次溅射一层缓冲层和一层催化剂层，得上表面溅射有一层缓冲层和一层催化剂的基底，所述缓冲层为氧化铝层，氧化铝层的厚度为10～30nm，所述催化剂为单质铁，或单质钴，或单质镍，或单质铁、单质钴、单质镍三者的合金，催化剂层的厚度为0.5～2nm；2)将上表面溅射有一层缓冲层和一层催化剂的基底放在加热片上；3)启动微区加热控制电源，直接以加热片为加热装置对基底加热；4)通入载气和碳源气；5)关闭微区加热控制器电源，将基底取出，得到样品。 | ||||||||||||||||||
| 公开号 | 101372327B | ||||||||||||||||||
| 公开日 | 2011-03-23 | ||||||||||||||||||
| 专利代理机构 | 厦门南强之路专利事务所 35200 | ||||||||||||||||||
| 代理人 | 马应森 | ||||||||||||||||||
| 颁证日 | |||||||||||||||||||
| 优先权 |
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| 国际申请 | |||||||||||||||||||
| 国际公布 | |||||||||||||||||||
| 进入国家日期 | |||||||||||||||||||
| 类型 | 阶段 | 文献号 | 公开日期 | 涉及权利要求项 | 相关页数 |
| 类型 | 阶段 | 期刊文摘名称 | 作者 | 标题 | 涉及权利要求项 | 相关页数 |
| 类型 | 阶段 | 书名 | 作者 | 标题 | 涉及权利要求项 | 相关页数 |
