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去除铝工艺中热交换器表面沉积的铝薄膜的方法
有权
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申请号:200810042592.8 申请日:2008-09-05
摘要:本发明提出一种去除铝工艺中热交换器表面沉积的铝薄膜的方法,其包括下列步骤:(A)在所述热交换器表面沉积有铝薄膜的区域涂覆碱性溶液;(B)等待第一设定时间之后,使用去离子水浸湿的无尘布擦拭所述区域,擦拭的同时使用干燥空气或惰性气体吹干所述区域;(C)对所述热交换器进行第二设定时间的烘干处理。本发明提出的去除铝工艺中热交换器表面沉积的铝薄膜的方法,其能够有效地去除热交换器上的铝薄膜,避免因为更换热交换器所带来的高昂费用,降低了生产成本。
申请人: 中芯国际集成电路制造(上海)有限公司
地址: 201203上海市张江路18号
发明(设计)人: 黄平 陆一峰 叶青 周琦
主分类号: B08B7/04(2006.01)I
分类号: B08B7/04(2006.01)I B08B3/08(2006.01)I C23F1/36(2006.01)I H01L21/00(2006.01)N H01L21/683(2006.01)N
  • 法律状态
2011-06-01  授权
2010-04-28  实质审查的生效IPC(主分类):B08B 7/04申请日:20080905
2010-03-10  公开
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
  • 其他信息
主权项  1.一种去除铝工艺中热交换器表面沉积的铝薄膜的方法,其特征在于包括 下列步骤: (a)在所述热交换器表面沉积有铝薄膜的区域涂覆碱性溶液; (b)等待第一设定时间之后,使用去离子水浸湿的无尘布擦拭所述区域, 擦拭的同时使用干燥空气或惰性气体吹干所述区域; (c)对所述热交换器进行第二设定时间的烘干处理。
公开号  101664745
公开日  2010-03-10
专利代理机构  上海思微知识产权代理事务所(普通合伙)
代理人  屈蘅 李时云
颁证日  
优先权  
国际申请  
国际公布  
进入国家日期