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环境参数测量方法及系统
无权-视为撤回

申请号:200810042590.9 申请日:2008-09-05
摘要:本发明提供了环境参数测量方法及系统,以提高测量效率;该方法包括:获得需要测量环境参数的位置的位置信息;采集所述位置对应的环境参数值;以及存储所述位置信息和环境参数值信息的对应关系、位置信息及环境参数值信息。
申请人: 中芯国际集成电路制造(上海)有限公司
地址: 201203上海市张江路18号
发明(设计)人: 王勇 张诚 吴建桦 侯大维 杨洪春 吕秋玲
主分类号: G01D21/02(2006.01)I
分类号: G01D21/02(2006.01)I
  • 法律状态
2011-11-16  发明专利申请公布后的视为撤回IPC(主分类):G01D 21/02公开日:20100310
2010-04-28  实质审查的生效IPC(主分类):G01D 21/02申请日:20080905
2010-03-10  公开
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
  • 其他信息
主权项  1、一种环境参数测量方法,其特征在于,包括: 获得需要测量环境参数的位置的位置信息; 采集所述位置对应的环境参数值;以及 存储所述位置信息和环境参数值信息的对应关系、位置信息及环境参数值 信息。
公开号  101666663
公开日  2010-03-10
专利代理机构  上海思微知识产权代理事务所(普通合伙)
代理人  屈蘅 李时云
颁证日  
优先权  
国际申请  
国际公布  
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