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石英表面化学粗糙处理方法
无权-未缴年费

申请号:200810013316.9 申请日:2008-09-23
摘要:一种石英表面化学粗糙处理方法,它解决了现有技术存在的对石英表面处理容易造成损伤、影响石英产品的尺寸精度等缺陷,该方法是将石英产品表面火抛光后,在常温、常压下浸入盛有处理液的容器内反应,反应两小时后取出,用去离子水洗净石英产品表面的附着物后,再次浸入处理液中重复上述反应,直至石英产品的表面粗糙度RA=1.5ΜM~4.5ΜM。该处理工艺流程设计合理,设备简单,操作容易,得到的石英产品表面粗糙度均匀,而且不受其形状影响。在参与CVD反应过程中,可以有效减少石英表面沉积膜的龟裂和脱落,从而降低了对反应腔的污染的可能性,明显提高产品成品率和加工效率,进而延长石英产品的使用寿命,省时、降耗,降低了生产成本。
申请人: 沈阳汉科半导体材料有限公司
地址: 110141辽宁省沈阳市沈阳经济技术开发区昆明湖街20号
发明(设计)人: 米山
主分类号: C03C15/00(2006.01)I
分类号: C03C15/00(2006.01)I C03C19/00(2006.01)I
  • 法律状态
2016-11-09  未缴年费专利权终止 IPC(主分类):C03C 15/00申请日:20080923授权公告日:20101006终止日期:20150923
2010-10-06  授权
2009-04-15  实质审查的生效
2009-02-18  公开
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
  • 其他信息
主权项  1.一种石英表面化学粗糙处理方法,其特征在于:将石英产品表面进行火抛 光后,在常温、常压下浸入盛有处理液的容器内反应,反应两小时后取出,用去 离子水洗净所述石英产品表面的附着物,洗净后再次浸入所述处理液中重复上述 反应,直至所述石英产品表面粗糙度均匀,呈不透明状态,使处理后的表面粗糙 度Ra=1.5μm~4.Sμm;所述处理液的制备步骤如下:先选用溶液浓度为40%的分析 纯氢氟酸和溶液浓度为99%的固体分析纯氟化铵混合,然后加入溶液浓度为99.5% 的分析纯乙酸配置成处理液备用;所述处理液中所用原料质量比为:氢氟酸∶氟 化铵∶乙酸=(2-6)∶(4-7)∶(8-11);所述处理液的用量以完全侵没所述石英产 品为宜。
公开号  101367618
公开日  2009-02-18
专利代理机构  沈阳科威专利代理有限责任公司
代理人  刁佩德
颁证日  
优先权  
国际申请  
国际公布  
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