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带电粒子分析装置
有权
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申请号:200780052915.5 申请日:2007-05-09
摘要:本发明提供一种带电粒子分析装置,在产生用于形成旋转轨道(C)的扇形电场的主电极(11)的外侧电极(11A)上,穿透设置用于从外部沿着扇形电场入射光轴(A)将离子导入旋转轨道(C)的离子入射口(15),为了修正由于设置了该入射口所带来的扇形电场的散乱,在扇形电场入射光轴(A)的方向上排列了3个电场修正电极(20)。通过分别适当的调整施加于该电场修正电极(20)的直流电压,能够将扇形电场中的等电位线调整至与没有离子入射口(15)时大致相同的程度。由此,可以减少沿着旋转轨道(C)飞行的离子的轨道的偏移,并且可以通过停止对电极(11)、(20)的电压施加,让离子通过离子入射口(15)载入旋转轨道(C)。
申请人: 株式会社岛津制作所
地址: 日本京都府
发明(设计)人: 西口克
主分类号: G01N27/62(2006.01)I
分类号: G01N27/62(2006.01)I H01J49/06(2006.01)I H01J49/40(2006.01)I
  • 法律状态
2013-09-25  授权
2010-04-28  实质审查的生效IPC(主分类):G01N 27/62申请日:20070509
2010-03-10  公开
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
  • 其他信息
主权项  1.一种带电粒子分析装置,具有带电粒子光学系统,其为了形成用于 使带电粒子以圆弧形状飞行的扇形电场,含有将外侧电极和内侧电极作为 一对的电极,该带电粒子分析装置,在所述外侧电极上穿透设置了用于使 带电粒子通过,或者用于使监视带电粒子的状态的电磁波或粒子线通过的 开口,其特征在于, 具有:电场修正电极,在所述开口的周围,在面向由所述外侧电极与 内侧电极所夹的空间的位置上配置; 电压施加机构,其对该电场修正电极施加规定的直流电压; 通过所述电场修正电极,修正由所述开口所带来的扇形电场的散乱。
公开号  101669027
公开日  2010-03-10
专利代理机构  中科专利商标代理有限责任公司
代理人  李贵亮
颁证日  
优先权  
国际申请  2007-05-09 PCT/JP2007/000492
国际公布  2008-11-20 WO2008/139506 日
进入国家日期  2009.11.09