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一种对列阵器件进行老化筛选的装置及方法
无权-视为撤回

Device and method for burn-in screening array device

申请号:200710120052.2 申请日:2007-08-08
摘要:本发明涉及光电子技术领域,公开了一种对列阵器件进行老化筛选的装置,包括:一上压板,该上压板的一端固定有一热沉,热沉与上压板之间有一导热绝缘膜;一下压板,该下压板的一端固定有一热沉,热沉与下压板之间有一导热绝缘膜;一弹簧支杆,用于固定所述上压板和下压板,为上压板和下压板夹持大功率半导体列阵器件提供弹力;所述上压板上固定的热沉与所述下压板上固定的热沉位置相对,在所述弹簧支杆的作用下夹持大功率半导体列阵器件,实现对大功率半导体列阵器件进行老化筛选。本发明同时公开了一种对列阵器件进行老化筛选的方法。本发明可有效剔除掉早期失效的器件,避免了对最终器件进行老化,减少浪费,提高了器件的成品率和可靠性。
Abstract: The invention discloses a device for the ageing screening of an array device, and relates to the technical field of optoelectronics. The device for the ageing screening comprises an upper press plate, a heat sink fixed at one end of the upper press plate, and a heat conducting insulating film between the heat sink and the upper press plate; a lower press plate, another heat sink fixed at one end of the lower press plate, and another heat conducting insulating film between the another heat sink and the another upper press plate; and a spring support rod for fixing the upper and lower press plates and providing elasticity for holding a large power semiconductor array device via the upper and the lower press plates. The heat sink position fixed on the upper press plate is opposite to the heat sink position fixed on the lower press plate to hold the large power semiconductor array device under the action of the spring support rod, thereby realizing the ageing screening of the large power semiconductor array device. The invention discloses a method for the ageing screening of the array device at the same time. With the device of the ageing screening of the array device, the early failed device is effectively eliminated, the final ageing of the device is avoided to reduce waste, and the finished product rate and the reliability of the device are improved.
申请人: 中国科学院半导体研究所
Applicant: INST SEMICONDUCTORS CAS[CN]
地址: 100083北京市********(隐藏)
发明(设计)人: 刘媛媛 李伟 马骁宇
Inventor: YUANYUAN LIU[CN]; WEI LI[CN]; XIAOYU MA[CN]
主分类号: G01R31/26(2006.01)I
分类号: G01R31/26(2006.01)I G01R21/02(2006.01)I G01R21/00(2006.01)I H01S5/00(2006.01)I
  • 法律状态
2011-05-25  发明专利申请公布后的视为撤回IPC(主分类):G01R 31/26公开日:20090211
2009-04-15  实质审查的生效
2009-02-11  公开
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
  • 其他信息
主权项  1.一种对列阵器件进行老化筛选的装置,其特征在于,该装置包括: 一上压板,该上压板的一端固定有一热沉,所述热沉与上压板之间有 一导热绝缘膜; 一下压板,该下压板的一端固定有一热沉,所述热沉与下压板之间有 一导热绝缘膜; 一弹簧支杆,用于固定所述上压板和下压板,为所述上压板和下压板 夹持大功率半导体列阵器件提供弹力; 所述上压板上固定的热沉与所述下压板上固定的热沉位置相对,在所 述弹簧支杆的作用下夹持大功率半导体列阵器件,实现对大功率半导体列 阵器件进行老化筛选。
公开号  101363897A
公开日  2009-02-11
专利代理机构  中科专利商标代理有限责任公司
代理人  周国城
颁证日  
优先权  
 
国别 优先权号 优先权日 类型
CN  200710120052  20070808 
国际申请  
国际公布  
进入国家日期  
  • 专利对比文献
类型 阶段 文献号 公开日期 涉及权利要求项 相关页数
注:不保证该信息的有效性、完整性、准确性,以上信息也不具有任何效力,仅供参考。使用前请另行委托专业机构进一步查核,使用该信息的一切后果由用户自行负责。
X:单独影响权利要求的新颖性或创造性的文件;
Y:与检索报告中其他 Y类文件组合后影响权利要求的创造性的文件;
A:背景技术文件,即反映权利要求的部分技术特征或者有关的现有技术的文件;
R:任何单位或个人在申请日向专利局提交的、属于同样的发明创造的专利或专利申请文件;
P:中间文件,其公开日在申请的申请日与所要求的优先权日之间的文件,或会导致需核实该申请优先权的文件;
E:单独影响权利要求新颖性的抵触申请文件。
  • 期刊对比文献
类型 阶段 期刊文摘名称 作者 标题 涉及权利要求项 相关页数
  • 书籍对比文献
类型 阶段 书名 作者 标题 涉及权利要求项 相关页数
  • 附加信息
同族专利
 
引用文献
 
被引用文献
CN101872936ACN102129022ACN103326231A
CN108089072A