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一种抛光垫修整头
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申请号:200710044852.0 申请日:2007-08-14
摘要:本发明揭示了一种抛光垫修整头,包括可旋转式气管接头(7)、同步带轮(8)、键(5)、支撑体(9)、轴承(10)、转动环(6),转动环(6)上安装有两个轴承(10),还包括第二转动块(14)、第一气缸缸体(15)、第一气缸活塞(16)、密封圈(19)。本发明克服了现有修整头由于橡皮碗的破损造成的可靠性、稳定性较差的问题,提高了修整头的可靠性、稳定性,并延长了修整头的使用寿命。
申请人: 中芯国际集成电路制造(上海)有限公司
地址: 201203上海市浦东新区张江路18号
发明(设计)人: 王怀锋 张伟光 党国锋 赵铁军
主分类号: B24B53/12(2006.01)I
分类号: B24B53/12(2006.01)I
  • 法律状态
2011-12-28  专利权的转移IPC(主分类):B24B 53/12变更事项:专利权人变更前权利人:中芯国际集成电路制造(上海)有限公司变更后权利人:中芯国际集成电路制造(上海)有限公司变更事项:地址变更前权利人:201203 上海市浦东新区张江路18号变更后权利人:201203 上海市浦东新区张江路18号变更事项:共同专利权人变更后权利人:中芯国际集成电路制造(北京)有限公司登记生效日:20111117
2010-05-19  授权
2009-04-15  实质审查的生效
2009-02-18  公开
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
  • 其他信息
主权项  1.一种抛光垫修整头,包括可旋转式气管接头(7)、同步带轮(8)、键 (5)、支撑体(9)、轴承(10)、转动环(6),转动环(6)上安装有两个轴 承(10), 其特征在于,还包括第二转动块(14)、第一气缸缸体(15)、第一气缸 活塞(16)、密封圈(19), 所述同步带轮(8)、第二转动块(14)、第一气缸活塞(16)、转动环(6) 连接成一体; 所述第二转动块(14)与第一气缸活塞(16)的内部开有第二气管通路 (20); 所述键(5)固定于第一气缸缸体芯轴(17)上,第一气缸活塞(16)的 内侧开有键槽(18),键(5)沿键槽(18)作上下运动,带动缸体芯轴(17), 也即第一气缸缸体(15)作上下运动; 所述密封圈(19)安装于第一气缸缸体(15)的内壁上; 所述第一气缸缸体(15)与修整轮固定架(12)连接成一体。
公开号  101367200
公开日  2009-02-18
专利代理机构  上海智信专利代理有限公司
代理人  王洁
颁证日  
优先权  
国际申请  
国际公布  
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