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测量硬盘磁头飞行高度的系统及共光路双频激光干涉测量方法
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System for measuring hard disk magnetic head flight height and common-path dual-frequency laser interference measuring method

申请号:200610080833.9 申请日:2006-05-18
摘要:本发明公开了属于光学测量技术领域的一种测量硬盘磁头飞行高度的系统及共光路双频激光干涉测量方法。包括横向塞曼激光器、依次放置在激光器发射端轴线上的低反射分光平片、半反射分光平片和反射镜构成的可调分束角结构、渥拉斯顿偏振分光棱镜,大口径长焦距透镜,放置在透镜后焦面上的磁头磁盘结构;还包括分别放置在两路两路干涉测量光和参考光返回合束光方向的高反射镜、检偏器、光电探测器。本发明提高测量精度、分辨率以及采样频率,改进补偿由于盘片稳态位置变化引入的阿贝误差,满足磁头相对玻璃模拟盘飞行高度测量研究,并适合在生产线检测磁头相对真实盘片的飞行姿态。具有较低成本,广泛应用于硬盘工业检测、微机械器件振动检测等领域。
Abstract: The invention relates to a system for measuring disc magnetic head flying height and a share-path dual-frequency laser interference measure method, belonging to the optical measure technique. It comprises a transverse Zeeman laser, a low-reflective divide plate on the axes of laser sender, an adjustable splitting angle device formed by a semi-reflect divide plate and a reflector, a Woraston polarize splitting lens, a big diameter long focus lens, a magnetic head disc at the back focal plane of lens, two paths of interference and reference lights, a high-reflector, a deflection checker, and a optical-electric detector. The invention can improve the measure accuracy, resolution and sampling frequency, improve and compensate the Abbe error caused by the stable position change of disc, meet the demand of flying height that magnetic head relative to the glass simulate disc, and on the producing line, check the flying state of magnetic disc relative to the actual disc. The invention has lower cost, which it can be used in disc checking, and micro mechanical device vibration checking.
申请人: 清华大学
Applicant: UNIV TSINGHUA[CN]
地址: 100084北京市********(隐藏)
发明(设计)人: 孟永钢 林德教 岳兆阳 宋南海 殷纯永
Inventor: MENG YONGGANG LIN[CN]
主分类号: G01B11/02(2006.01)I
分类号: G01B11/02(2006.01)I G01B9/02(2006.01)I G11B5/48(2006.01)I
  • 法律状态
2009-07-01  授权
2006-12-06  
2006-10-11  公开
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
  • 其他信息
主权项  1.一种测量硬盘磁头滑块飞行高度系统。所述实时测量硬盘磁头滑块飞行高 度系统包括 一个输出一对偏振态正交的双频激光的横向塞曼双频激光器; 一个由相位计和工控计算机组成的信号处理部分,具有对两对测量参考信号 进行同步测相采集、分析以及显示的功能,用于对上述相位计输出测量信号进行 在线补偿测量阿贝误差,对磁头飞行高度结果进行分析;其特征在于:该系统还 包括一个干涉光路部分; 所述干涉光路部分为 一个分束器,用于对横向塞曼双频激光器输出的一对偏振态正交双频激光进 行分光探测,形成参考信号; 一个分束角可调机构,由一个分束器和反射镜构成,用于将入射光分为强度 相同的两束光,调节其汇聚夹角等于渥拉斯顿棱镜分束角; 一个渥拉斯顿棱镜,用于将入射光分为参考光和测量光; 一个大口径长焦距透镜,用于将参考光和测量光分别聚焦在盘片和磁头滑块 上; 两个全反射镜,用于调整光束进入探测器; 三个带有检偏器探测器,用于检偏探测拍频信号; 所述测量硬盘磁头滑块飞行高度系统具体结构是,依次放置在横向塞曼激光 器(1)发射端轴线上的分束器(2)、分束器(3)和反射镜(12)构成的分束角 可调机构、渥拉斯顿棱镜(5),大口径长焦距透镜(6),放置在透镜(6)后焦 面上的硬盘盘片(7)、磁头滑块(8)组成磁头盘片结构;反射镜(4)、(9),带 检偏器探测器(10)、(11)分别放置在两路干涉测量光和参考光返回合束光方向 上,及带检偏器探测器(13)放置在分束器(2)反射光方向上。
公开号  1844847A
公开日  2006-10-11
专利代理机构  北京众合诚成知识产权代理有限公司
代理人  李光松
颁证日  
优先权  
 
国别 优先权号 优先权日 类型
CN  200610080833  20060518 
国际申请  
国际公布  
进入国家日期  
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同族专利
CN100507440C
 
引用文献
 
被引用文献
WO2019187422A1CN101821808ACN103236266A
CN106546165ACN108593027ACN109059777A