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采用簇形纳米管阵列检测通孔的电子束检验设备与方法
无权-视为撤回

申请号:200510004015.6 申请日:2005-01-06
摘要:电子束发生器具有宽区域与定向射束生成能力。发生器包括以相互间隔和对置的关系设置的阳极电极和阴极电极。提供簇形碳纳米管阵列以支持宽区域与定向射束生成。簇形纳米管阵列在阳极电极和阴极电极之间伸展。纳米管阵列在其上也有在与阴极电极的主平面对置处伸展的宽区域发射面。簇形纳米管阵列被配置成其中的纳米管为电子从阴极电极通过发射面流向阳极电极提供导电通道。
申请人: 三星电子株式会社
地址: 韩国京畿道
发明(设计)人: 尹英智 全忠森 全相文
主分类号: H01J37/26
分类号: H01J37/26 H01L21/66 G01R31/307
  • 法律状态
2010-03-24  发明专利申请公布后的视为撤回
2007-02-28  
2005-07-27  公开
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
  • 其他信息
主权项  1.一种电子束发生器,包括: 以相互间隔与对置的关系配置的阳极电极和阴极电极;和 在所述阳极电极和阴极电极之间伸展、并具有在它们上面在与阳 极电极主表面的对置处伸展的发射表面的簇形纳米管阵列,该簇形纳 米管阵列被配置为使得其中的纳米管为电子从阴极电极经过发射面流 向阳极电极提供导电通道。
公开号  1645549A
公开日  2005-07-27
专利代理机构  中原信达知识产权代理有限责任公司
代理人  林宇清 谢丽娜
颁证日  
优先权  2004.1.7 KR 10-2004-0000854
国际申请  
国际公布  
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