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用于接合工具定位的装置和方法
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Apparatus and method for alignment of a bonding tool

申请号:200510002381.8 申请日:2005-01-19
摘要:本发明提供了一种用于定位接合工具的装置和方法。一个包含有多个压力感测部位的压力式传感器,其被配置来测量由该接合工具在该压力式传感器上所产生的压力。每个感测部位被用来分别检测来自该接合工具的一部分的、作用于该感测部位的大量压力,以致于可以确定该接合工具的定位。
Abstract: The invention provides an apparatus and method for aligning a bonding tool. A force sensor having a plurality of force sensing sections is configured to measure a force generated by the bonding tool on the force sensor. Each sensing section is adapted to individually detect an amount of force from a part of the bonding tool acting on that sensing section, so that an alignment of the bonding tool may be determined.
申请人: 先进自动器材有限公司
Applicant: ASM ASSEMBLY AUTOMATION LTD[HK]
地址: 香港新界葵涌工业街16-22号屈臣氏中心20楼
发明(设计)人: 陈丽华 蔡少康 廖秋棋 吴铭伟 欧玉璋
Inventor: CHAN LAI W H[HK]; CHOY SIU H[HK]; LIU CHOU K P[HK]; NG MING W K[HK]; AU YUK C[HK]
主分类号: H01L21/00
分类号: H01L21/00 H01L21/68
  • 法律状态
2008-10-01  授权
2005-09-21  
2005-07-27  公开
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
  • 其他信息
主权项  1、一种用于接合工具定位的装置,其包括: 压力式传感器,其被装配以用于测量由接合工具在该压力式传感器上所产生的 压力;其中该压力式传感器包含有多个压力感测部位,每个感测部位被用来各自检 测来自该接合工具的一部分的、作用于该感测部位的许多压力。
公开号  1645561A
公开日  2005-07-27
专利代理机构  北京申翔知识产权代理有限公司
代理人  周春发
颁证日  
优先权  2004.1.21 US 10/762,826
 
国别 优先权号 优先权日 类型
US  10/762,826  20040121 
国际申请  
国际公布  
进入国家日期  
  • 专利对比文献
类型 阶段 文献号 公开日期 涉及权利要求项 相关页数
注:不保证该信息的有效性、完整性、准确性,以上信息也不具有任何效力,仅供参考。使用前请另行委托专业机构进一步查核,使用该信息的一切后果由用户自行负责。
X:单独影响权利要求的新颖性或创造性的文件;
Y:与检索报告中其他 Y类文件组合后影响权利要求的创造性的文件;
A:背景技术文件,即反映权利要求的部分技术特征或者有关的现有技术的文件;
R:任何单位或个人在申请日向专利局提交的、属于同样的发明创造的专利或专利申请文件;
P:中间文件,其公开日在申请的申请日与所要求的优先权日之间的文件,或会导致需核实该申请优先权的文件;
E:单独影响权利要求新颖性的抵触申请文件。
  • 期刊对比文献
类型 阶段 期刊文摘名称 作者 标题 涉及权利要求项 相关页数
  • 书籍对比文献
类型 阶段 书名 作者 标题 涉及权利要求项 相关页数