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母盘的制造方法、母盘的制造装置、母盘的移动距离差检测方法及母盘的移动距离差检测装置
无权-未缴年费

申请号:200480025632.8 申请日:2004-09-03
摘要:本发明提供一种母盘制造方法,用保持曲率移动的水平移动装置来实现正确的母盘传送精度,包括:使光阻剂母盘(108)自转的工序;移动上述光阻剂母盘(108)的工序;读取与上述移动相伴的上述光阻剂母盘(108)的中心点在轨迹上的移动距离的工序;对上述中心点在轨迹上的移动距离、与伴随上述移动的上述光阻剂母盘(108)的中心点在直线上的移动距离之差进行检测的工序;以及,根据上述检测结果,控制规定的制造参数的工序。
申请人: 松下电器产业株式会社
地址: 日本大阪府
发明(设计)人: 佃雅彦 阿部伸也
主分类号: G11B7/085(2006.01)I
分类号: G11B7/085(2006.01)I G11B7/26(2006.01)I G11B19/20(2006.01)I G11B19/28(2006.01)I G03F7/20(2006.01)I G01B7/00(2006.01)I G01B11/00(2006.01)I
  • 法律状态
2011-11-23  未缴年费专利权终止IPC(主分类):G11B 7/085申请日:20040903授权公告日:20080305终止日期:20100903
2008-03-05  授权
2006-12-06  
2006-10-11  公开
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
  • 其他信息
主权项  1.一种母盘制造方法,包括: 使母盘自转的工序; 移动所述母盘的工序; 读取与所述移动相伴的所述母盘的中心点在轨迹上的移动距离的工 序; 对所述中心点在轨迹上的移动距离、与伴随所述移动的所述母盘的中 心点在直线上的移动距离之差进行检测的工序;以及, 根据所述检测结果,控制规定的制造参数的工序。
公开号  1846257A
公开日  2006-10-11
专利代理机构  中科专利商标代理有限责任公司
代理人  汪惠民
颁证日  
优先权  2003.9.8 JP 315998/2003
国际申请  2004-09-03 PCT/JP2004/013180
国际公布  2005-03-17 WO2005/024807 日
进入国家日期  2006.03.07