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检测真空紫外线的装置和方法
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Apparatus and method for detection of vacuum ultraviolet radiation

申请号:200480025569.8 申请日:2004-09-03
摘要:真空紫外辐射检测装置(10)包括在腔室(12)中的辐射检测器(30)。检测器(30)从辐射源(36)接收紫外辐射。用干式真空泵(18)将腔室抽空到不低于5Pa的相对较差真空。UV透明气体以一种使得腔室(12)中的总体压强在100到1,000Pa之间的相对低流速(大约0.1升/分钟)从供气(26)容器被供应到腔室(12)中。使用相对廉价的泵,同时使用较低的气体流速,可以显著地节省成本。
Abstract: Vacuum ultraviolet radiation detection apparatus (10) comprises a radiation detector (30) in a chamber (12). The detector (30) receives ultraviolet radiation from a radiation source (36). The chamber is evacuated using a dry vacuum pump (18) to a relatively poor vacuum of no less than 5 Pa. UV transparent gas is supplied from a gas supply (26), into the chamber (12) at a relatively low flow rate (around 0.1 litres/minute) so as to provide an overall pressure in the chamber (12) of between 100 and 1,000 Pa. The use of a relatively inexpensive pump coupled with a lower gas flow rate provides significant cost savings.
申请人: 热电股份有限公司
Applicant: THERMO ELECTRON CORP[US]
地址: 美国马萨诸塞州
发明(设计)人: F·文森 A·卡布拉斯
Inventor: ANTONIO VINCENT FRANCOIS CABRA[US]
主分类号: G01J1/42(2006.01)I
分类号: G01J1/42(2006.01)I G01J3/443(2006.01)I
  • 法律状态
2012-04-18  授权
2006-12-06  
2006-10-11  公开
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
  • 其他信息
主权项  1.一种真空紫外线检测装置,包括: 辐射检测器,被安排为从辐射源接收紫外线, 腔室,其中放置了所述检测器, 干式真空泵,被安排为将所述腔室抽空成基本等于或大于5Pa(0.05mbar)的 压强,以及 供气装置,被安排为通过腔室进口将基本上UV透明的气体输入所述腔室。
公开号  1846122A
公开日  2006-10-11
专利代理机构  上海专利商标事务所有限公司
代理人  钱慰民
颁证日  
优先权  2003.9.9 GB 0321070.5
 
国别 优先权号 优先权日 类型
WO  WO2004EP09821  20040903  PCT application claimed as a regional filing N 
GB  0321070.5  20030909 
国际申请  2004-09-03 PCT/EP2004/009821
国际公布  2005-03-17 WO2005/024361 英
进入国家日期  2006.03.06
  • 专利对比文献
类型 阶段 文献号 公开日期 涉及权利要求项 相关页数
注:不保证该信息的有效性、完整性、准确性,以上信息也不具有任何效力,仅供参考。使用前请另行委托专业机构进一步查核,使用该信息的一切后果由用户自行负责。
X:单独影响权利要求的新颖性或创造性的文件;
Y:与检索报告中其他 Y类文件组合后影响权利要求的创造性的文件;
A:背景技术文件,即反映权利要求的部分技术特征或者有关的现有技术的文件;
R:任何单位或个人在申请日向专利局提交的、属于同样的发明创造的专利或专利申请文件;
P:中间文件,其公开日在申请的申请日与所要求的优先权日之间的文件,或会导致需核实该申请优先权的文件;
E:单独影响权利要求新颖性的抵触申请文件。
  • 期刊对比文献
类型 阶段 期刊文摘名称 作者 标题 涉及权利要求项 相关页数
  • 书籍对比文献
类型 阶段 书名 作者 标题 涉及权利要求项 相关页数