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移开晶片的方法及静电吸盘装置
无权-未缴年费

Method for moving chip and electrostatic sucking disc device

申请号:03131491.0 申请日:1997-06-20
摘要:一种静电吸盘装置,包括:在其上吸引及支持晶片的静电吸盘;用于检测所述静电吸盘温度的温度检测装置;与所述静电吸盘相连的电源,所述电源施加直流电压到所述静电吸盘上使所述静电吸盘具有吸引力;反向装置,它将作为反向电压施加到所述静电吸盘上的所述直流电压的极性反向;及反向电压确定装置,当所述直流电压极性反向时,它根据已检测的所述静电吸盘的所述温度确定所述反向电压的值。
Abstract:
申请人: 索尼株式会社
Applicant: SONY CORP[JP]
地址: 日本东京
发明(设计)人: 平野信介 城崎友秀
Inventor: NOBUSUKE HIRANO[JP]; TOMOHIDE JOZAKI[JP]
主分类号: H01L21/68
分类号: H01L21/68 H02N13/00 B25B11/00
  • 法律状态
2013-08-07  未缴年费专利权终止IPC(主分类):H01L 21/68申请日:19970620授权公告日:20090805终止日期:20120620
2009-08-05  授权
2004-09-29  
2004-07-28  公开
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
  • 其他信息
主权项  1、一种将晶片从静电吸盘上移开的方法,其中施加直流电压到所述静 电吸盘上来吸引及支持所述晶片,施加与所述直流电压极性相反的反 向电压到所述静电吸盘上来移开晶片,所述方法包括下述步骤: 检测所述静电吸盘的温度; 根据已检测的所述静电吸盘的所述温度确定所述反向电压值; 将施加在所述静电吸盘上的所述直流电压极性反向; 将具有已确定的所述反向电压值的所述反向电压施加到所述静电 吸盘上,及 将所述晶片从所述静电吸盘移开。
公开号  1516256A
公开日  2004-07-28
专利代理机构  中国国际贸易促进委员会专利商标事务所
代理人  王永刚
颁证日  
优先权  1996.6.21 JP 161211/1996
 
国别 优先权号 优先权日 类型
JP  161211/1996  19960621 
国际申请  
国际公布  
进入国家日期  
  • 专利对比文献
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