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电子部件的制造方法、电子部件及弹性表面波滤波器
有权
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申请号:03128667.4 申请日:2003-04-09
摘要:提供一种电子部件的制造方法,该制造方法不需要特别的装置,且不需要昂贵的气体,该电子部件具有电阻率小且膜硬度高及弯曲少的由α相钨构成的电极膜。该电子部件的制造方法包括:在100~300℃的基板温度下,由溅射法在基板上形成由α相钨构成的电极膜的电极膜形成工序;加工该电极膜成所希望的形状的工序;热处理电极膜的工序。
申请人: 株式会社村田制作所
地址: 日本京都府长冈京市
发明(设计)人: 高田英一 山本康治 乾谷源二 門田道雄
主分类号: H03H3/00
分类号: H03H3/00 H03H3/08 H03H9/25
  • 法律状态
2006-09-27  授权
2003-12-31  
2003-10-22  公开
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
  • 其他信息
主权项  1.一种电子部件的制造方法,其特征在于,包括: 在100~300℃的基板温度下,由溅射法在基板上形成由α相钨构成的电极 膜的电极膜形成工序; 加工上述电极膜成所希望的形状的工序; 热处理上述电极膜的工序。
公开号  1450718
公开日  2003-10-22
专利代理机构  上海专利商标事务所
代理人  赵国华
颁证日  
优先权  2002.4.9 JP 2002-106301;2003.2.25 JP 2003-048147
国际申请  
国际公布  
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