搜索 分析 新世界 法规 图书 网址导航 更多
高级用户登录 | 登录 | |

制备三氟化氮气体的工艺方法及设备
有权
阅读授权文献

申请号:03122352.4 申请日:2003-04-30
摘要:本发明涉及一种制备三氟化氮气体的工艺方法及设备,电解槽中的阳极电解气通过管道进入压力平衡罐,从压力平衡罐出来的气体通过调节阀进入一个低压罐,从低压罐出来的气体通过管道进入低温冷却塔,进行去除阳极电解气中的NH4F及HF等高沸点杂质,经过低温冷却塔去除了高沸点杂质后的NF3气体通过管道进入超低温冷阱进行液化、收集,并采用对冷阱抽真空的办法去除其中的低沸点杂质如N2、O2,当超低温冷阱中收集、液化NF3气体后,对超低温冷阱升温,将NF3气体蒸馏压入粗品NF3气体储罐中,电解槽阳极的材料是高纯度镍。它具有NF3气体纯度高、设备简单、操作简便、设备运行安全、可连续生产、成本低的优点。
申请人: 中国船舶重工集团公司第七一八研究所
地址: 056027河北省邯郸市展览路17号
发明(设计)人: 李本东 高世选
主分类号: C25B1/24
分类号: C25B1/24
  • 法律状态
2004-12-15  授权
2003-12-31  
2003-10-22  公开
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
  • 其他信息
主权项  1、一种制备三氟化氮气体的工艺方法,其特征在于:本发明采用比较 传统的电解法来制备NF3气体,即以熔融的NH4F-xHF或加少量KF为电解 液体系在电解槽(1)中电解制备NF3气体,电解槽(1)中电解液体系的摩 尔比x=1~2.5,电解温度为90℃~140℃,电解电压为5~10V,电流密度为 0.01~0.32A/mm2,工作压力为-0.01~0.1Mpa,电解槽(1)中的阳极电解气 通过管道进入压力平衡罐(4),从压力平衡罐(4)出来的气体通过调节阀 (5)进入一个低压罐(6),该低压罐(6)的压力比压力平衡罐(4)低, 其压力为-0.08~0Mpa,压力平衡罐(4)的工作压力是通过调节连接在压力 平衡罐(4)和低压罐(6)之间的气体流量调节阀(5)的气体流速来实现 的,从低压罐(6)出来的气体通过管道进入低温冷却塔(7),进行去除阳 极电解气中的NH4F及HF等高沸点杂质,低温冷却塔(7)的气体出口温 度为-125℃~-40℃,经过低温冷却塔(7)去除了高沸点杂质后的NF3气体 通过管道进入超低温冷阱(9)进行液化、收集,并采用对超低温冷阱(9) 抽真空的办法去除其中的低沸点杂质如N2、O2,超低温冷阱(9)的气体出 口温度为-185℃~-130℃,超低温冷阱(9)的工作压力为-0.095~0Mpa,当 超低温冷阱(9)中收集、液化NF3气体后,对超低温冷阱(9)升温,将NF3气体蒸馏压入粗品NF3气体储罐(12)中,超低温冷阱(9)蒸馏NF3气体 结束后的其它被冷凝下来的杂质排入废气处理系统处理达标后再排放掉。
公开号  1450202
公开日  2003-10-22
专利代理机构  
代理人  
颁证日  
优先权  
国际申请  
国际公布  
进入国家日期