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多层静电吸盘及其制造方法
无权-届满

Multilayer electrostatic suction disk and its making method

申请号:03119880.5 申请日:1996-03-01
摘要:本发明提供了一种具有静电吸持电极的陶瓷静电吸盘装置,适用于吸持晶片和平板显示器。该吸盘装置包括上部绝缘层、吸持电极、第2绝缘层、用于将电源分配给一个吸持电极的第1金属化层、第3绝缘层、用于将电源分配给另一吸持电极的第2金属化层、第3绝缘层、内外加热电极、第5绝缘层、用于将电源分配给加热电极的第3金属化层、及至少一个附加绝缘层。这些绝缘层包括多组用于将电极和金属化层相互连接的导电连通线。
Abstract:
申请人: 兰姆研究公司
Applicant: LAM RES CORP[US]
地址: 美国加利福尼亚
发明(设计)人: 安瓦乐·侯塞因
Inventor: HOWSAYNE A[US]
主分类号: B23Q3/15
分类号: B23Q3/15 H01L21/00
  • 法律状态
2016-04-27  专利权有效期届满IPC(主分类):H01L 21/00申请日:19960301授权公告日:20060215
2006-02-15  授权
2004-09-29  
2004-07-28  公开
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
  • 其他信息
主权项  1.一种多层静电吸盘装置,包括: 电绝缘陶瓷材料的第1绝缘层; 电绝缘陶瓷材料的第2绝缘层; 位于第1和第2绝缘层之间的静电吸持电极,该吸持电极包括导 电材料的第1和第2带形线; 延伸通过第2绝缘层并与第1带形线电接触的第1组导电连通线; 以及 延伸通过第2绝缘层并与第2带形线电接触的第2组导电连通线, 所述第1组连通线包括通过小于第1带形线宽度的距离相互隔开的 至少两个连通线,所述第2组连通线包括通过小于第2带形线宽度的 距离相互隔开的至少两个连通线。
公开号  1515380A
公开日  2004-07-28
专利代理机构  中国国际贸易促进委员会专利商标事务所
代理人  李德山
颁证日  
优先权  1995.3.10 US 08/401,524
 
国别 优先权号 优先权日 类型
US  08/401,524  19950310 
国际申请  
国际公布  
进入国家日期  
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  • 附加信息
同族专利
US5671116AUS5880922AWO9628842A1
EP0813748A1EP0813748B1DE69631523D1
DE69631523T2JP4059349B2JPH11502062A
KR100369106B1KR19980702925ACN1123062C
CN1178600ACN1242453CAT259542T
 
引用文献
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US4677254AUS4692836AUS4724510A
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US4962441AUS4983254AUS5004640A
US5055964AUS5103367AUS5104834A
US5110438AUS5117121AUS5151845A
US5155652AUS5160152AUS5179498A
US5191506AUS5207437AUS5294778A
US5326725AUS5331134AUS5350479A
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EP0498752A1EP0506537A1EP0512936A1
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被引用文献
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