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三维取向氧化锌薄膜的制备方法
无权-未缴年费

申请号:03116798.5 申请日:2003-05-08
摘要:一种三维取向氧化锌薄膜的制备方法,首先将锌盐、氨水和铵盐按一定比例溶于去离子水,制备成薄膜生长反应液,然后将处理过的基片浸入制备好的薄膜生长反应液中,在预浸泡30~60分钟后,升温至94~97℃,反应30~60分钟即可获得致密的具有三维取向排列的氧化锌薄膜。本发明方法操作简单、成本低,生产周期短,制备的氧化锌薄膜由三维排列的微米棒组成,平均粒径为200nm,长度5μm。
申请人: 上海交通大学
地址: 200030上海市华山路1954号
发明(设计)人: 王卓 钱雪峰 朱子康
主分类号: H01L21/208
分类号: H01L21/208 C23C18/00 C01G9/02
  • 法律状态
2008-07-09  专利权的终止(未缴年费专利权终止)授权公告日:2005.2.9
2005-02-09  授权
2003-12-31  
2003-10-22  公开
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
  • 其他信息
主权项  1、一种三维取向氧化锌薄膜的制备方法,其特征在于包括如下步骤: ①薄膜生长反应液的制备:将锌盐、氨水和铵盐溶于去离子水,制备成薄 膜生长反应液,每100ml水溶液中含锌盐0.01mol、25%(质量比)氨水5ml 和铵盐0.002mol; ②基片的预处理:将基片浸入到沸腾的98%的浓硫酸中5~10小时,然后 浸入到丙酮溶液中超声30~60分钟,再用去离子水冲洗后将基片在真空烘箱中 晾干待用。 ③三维取向氧化锌薄膜的合成:将基片浸润到薄膜生长反应溶液中30~60 分钟,然后升温进行反应,反应温度94~97℃,升温速率10~20度/分,反应时 间30~60分钟,反应结束后快速冷却,然后将基片放于去离子水中超声1~2分 钟,用去离子水冲洗后自然晾干,即可获得三维取向氧化锌薄膜。
公开号  1450599
公开日  2003-10-22
专利代理机构  上海交达专利事务所
代理人  毛翠莹
颁证日  
优先权  
国际申请  
国际公布  
进入国家日期