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一种高介电材料锂磷氧氮
无权-视为撤回

申请号:03116284.3 申请日:2003-04-10
摘要:本发明提供一种新的高介电材料氮化的Li3PO4薄膜,简称锂磷氧氮(LiPON),它具有介电性能,其介电常数在14~26之间。本发明对Al/Liipon/Si电容器的电容-电压(C-V)和电容-电流(I-V)的特性进行了测量。结果表明:Lipon薄膜是一个高的介电材料,漏电流在电场强度为107V/m时低于~10-6A/cm2,慢界面态密度在~1012cm-2,在硅禁代中央处的界面态密度估计为~1011eV-1cm-2。Al/Lipon/Al结构的等温瞬态离子流测量的结果显示了Lipon薄膜有很明显的极化。
申请人: 复旦大学
地址: 200433上海市邯郸路220号
发明(设计)人: 傅正文 秦启宗 刘文元 李驰麟
主分类号: H01B3/02
分类号: H01B3/02 H01G4/08 H01L21/314
  • 法律状态
2007-03-07  
2003-12-31  
2003-10-22  公开
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
  • 其他信息
主权项  1.一种高介电材料,其特征在于为玻璃态锂磷氧氮薄膜Li3PO4Nx,其介电常数为 14.8~26,N的含量为7-18%。
公开号  1450567
公开日  2003-10-22
专利代理机构  上海正旦专利代理有限公司
代理人  陆飞
颁证日  
优先权  
国际申请  
国际公布  
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